Gebraucht KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN #293818331 zu verkaufen

KOKUSAI Quixace Ultimate ALD SiN ist ein Diffusionsofen und Zubehör für fortgeschrittenesLocal-Oxide Jacketed Epitaxial Growth (ALD). Dieser Aufbau nutzt den piezoelektrischen Effekt lokaler Oxidfilme, um hochwertige Epitaxiefolien mit gleichmäßigen Eigenschaften über den Wafer zu liefern. Der SiN Diffusionsofen kann bis zu fünf Wafer gleichzeitig verarbeiten und kann bis zu 1000 ° C Temperaturen bewältigen. Die Anlage ist für homogene Oxidfilme und minimalen Widerstand über den Wafer optimiert. Der Diffusionsofen nutzt den piezoelektrischen Effekt lokaler Oxidmäntel, um Epitaxiefolien bis zu 2 Mikrometer dick zu machen. Es ist mit einer Steigung von 75mm und einer Quarzwärmequelle für erhöhte thermische Stabilität ausgestattet. Der freitragende Plattenumkehrmechanismus sorgt für homogene Filme mit gleichmäßigen Eigenschaften. Zusätzlich kann die Wachstumsrate des Oxidfilms mit anisotroper Oxidationsausbeute (AOY) und strukturierter Oxidationssteuerung (POC) exakt gesteuert werden. Der energiereiche Plasmagenerator erzeugt einen hochenergetischen Plasmastrom, der zum Wafer kollimiert wird. Dieser Ionenbeschuss beschleunigt das Wachstum des Oxidfilms, verbunden mit der lokalisierten Oxidationsrate des Wafers. Darüber hinaus verwendet der Diffusionsofen auch ein Mikrowellenplasma, um die Oxidationsgeschwindigkeit mit präziser Steuerung zu erhöhen. Der Plasmagenerator ermöglicht es dem System auch, kontrollierbare Oxidationsraten von bis zu 5000-10000 Angström pro Sekunde zu erreichen. Das Gerät ist mit einer speziellen Abgasmaschine ausgestattet, die zur Verringerung der Luftverschmutzung ausgelegt ist. Die Luft wird ständig durch den Ofen gezogen, und der Kammerdruck wird in N2/H2 Atmosphäre ständig aufrechterhalten, wodurch die Gefahr einer Verschmutzung über Luft verringert wird. Der Filter hilft auch Oxidstaub im Auspuff zu reduzieren. Der Ofen ist mit einem Kammerkippwerkzeug ausgelegt, um einen einfachen Zugriff auf das Gut während der Wartung zu ermöglichen. Die Kippkammer verfügt über eine eingebaute Sicherheitsverriegelung und bietet einen multidirektionalen Zugang zum Modell für Inspektion und Reparatur. Die modernste Technologie von Quixace Ultimate ALD SiN gibt dem Anwender die Möglichkeit, hochwertige, gleichmäßige Epitaxiefolien mit Präzision und minimalem Widerstand zu erstellen. Die einfache Wartung und das Design der Abgasanlagen erhöhen den Wert dieses Systems weiter, wodurch der Benutzer einen effizienten und zuverlässigen Diffusionsofen erhält.