Gebraucht KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L #161991 zu verkaufen

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KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L
Verkauft
ID: 161991
Furnace.
KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket, das den Anforderungen der Halbleiterforschung und -entwicklung, der Wissenschaft und der Fertigung gerecht wird. Das 815V-8L Paket umfasst eine 8x15x3 Zoll Vakuum Quarz-Keramik-Kammer mit einem Betriebstemperaturbereich von 500-1600 ° C, einen 3-Zoll-Graphit-Suszeptor, eine variable Druckgasinjektorausrüstung, ein Hochvakuumpumpsystem und einen separaten Abgasanschluss. Dieser Diffusionsofen weist eine geschlossene PID-Heizungsverluststeuereinheit auf, die die Wärmebilanz der Heizelemente optimiert. Seine Lötheizelemente sollen die Erosion reduzieren und die Temperaturgleichförmigkeit in der Kammer verbessern. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur wird auch durch die Verwendung eines Aluminiumoxid-Wärmeschildes und eines Luftventilators im Inneren der Kammer erhöht. Der 3-Zoll-Graphit-Suszeptor ermöglicht höhere Heizraten für Produktionsumgebungen und ermöglicht eine schnelle Abkühlung kleiner Flächen. Es bietet auch eine bequeme Plattform für Substrattransport und Beladung. Die Gaseinspritzmaschine mit veränderlichem Druck ist für die Niederdruck-Dotierungsdiffusion in die Halbleiterscheiben ausgelegt. Das Hochvakuum-Pumpwerkzeug stellt sicher, dass die Kammer vor der Einleitung des Dotierstoffgases evakuiert wird, was den Wirkungsgrad der Vorrichtung erhöht. Dieser Diffusionsofen ist mit Sicherheitsmerkmalen zur Steuerung gefährlicher Gase und Plasmaprozesse ausgelegt. Dazu gehören Druckalarme, Timer, Temperaturüberwachung, Stromüberwachungen und Verriegelungssysteme. Zusätzlich verfügt das Gerät über einen integrierten Überlastschutz, um das Risiko von Stromschlägen zu reduzieren. Darüber hinaus wird Vertex V-DJ 815V-8L von einer umfassenden Suite Windows-basierter Software unterstützt. Die Software bietet benutzerfreundliche Tools zur Überwachung, Steuerung und Aufzeichnung von Prozessparametern sowie Anzeige von Echtzeitdaten. Insgesamt ist KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L eine ideale Lösung für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit, Hochvakuumbetrieb und erweiterte Sicherheitsfunktionen, alles innerhalb eines kompakten Formfaktors. Sein vielseitiger Graphit-Suszeptor und sein Gasinjektor mit variablem Druck machen ihn ideal für Forschungs- und Produktionsumgebungen. Insgesamt ist Vertex V-DJ 815V-8L eine ausgezeichnete Wahl für Diffusionsofen und Zubehörpaket.
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