Gebraucht KOKUSAI Vertron DJ-803V #9233086 zu verkaufen
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ID: 9233086
Wafergröße: 8"
Vertical diffusion furnaces, 8"
Process: Si2N4 / Nitride
Reserved batch operation
Number of wafer / Batch: 100
Wafer shape: Semi notch
Wafer cassette: 8" Plastic
Gas box
Gas sticks:
N2
SiH2Cl2
NH3
Gas flow diagram
Heater:
(4) Heater zones
Maximum temperature: 850°C
Profile TC control thermocouple
Control thermocouple location: Between outer tube and inner tube
Boat rotation
Piezo pressure control
VG for control
Type, range: Baratron
VG for interlock
Type, range: Baratron
No SMIF Interface
No pump
No scrubber
No loadlock.
KOKUSAI Vertron DJ-803V ist ein Diffusionsofen, der speziell für Diffusionsprozesse entwickelt wurde. Es bietet eine einfach zu bedienende Plattform für die Verarbeitung von Substraten bei verschiedenen Temperaturen unter kontrollierten Atmosphären. Es ist in der Halbleiter- und Elektronikindustrie weit verbreitet. Vertron DJ-803V ist mit einem innovativen wassergekühlten Suszeptor und einem stationären Duschkopf ausgestattet, der eine gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Substrate und eine schnellere Verarbeitung ermöglicht. Diese Art von Ofen eignet sich am besten zur Herstellung von Diffusionsschichten mit gleichmäßiger durchgehender Dicke. Die große Größe des Ofens ermöglicht auch eine höhere Kühlrate während des Abkühlprozesses, wodurch die höchste Ausbeute an Substraten gewährleistet wird. Der Vertron Ofen eignet sich ideal zum Glühen von Metallen, Diffusion von Substraten, diffundierenden Beschichtungsmaterialien und für verschiedene mehrstufige Verfahren. Es bietet eine breite Palette von Betriebstemperaturen von 20 ° C bis 1300 ° C. Es ist auch mit einer modernen Vakuumausrüstung ausgestattet, die eine saubere Vakuumumgebung in der Kammer aufrechterhalten kann. Um einen effizienten Betrieb zu gewährleisten, verfügt KOKUSAI Vertron DJ-803V über eine leistungsstarke Hochfrequenzluftquelle, eine hochzuverlässige Quarzglasheizung und ein ausgewogenes Drucksystem. Der Ofen verfügt über eine automatische Temperaturregelung, die eine genaue Temperaturregelung während des gesamten Prozesses gewährleistet. Der Heizleistungsbereich liegt zwischen 1,5 und 15kW und bietet eine präzise Leistungseinstellregelung. Vertron DJ-803V Ofen hat auch eine zweistufige unabhängige Steuerungsmaschine. Die erste Stufe umfasst ein intuitives LCD-Display und einen integrierten Rezeptspeicher, der eine einfache Bedienung ermöglicht. Die zweite Ebene besteht aus einer PC-Verbindung und Software, die weitere Installations- und Programmierzwecke ermöglicht. KOKUSAI Vertron DJ-803V ist ein leistungsfähiges und effizientes Werkzeug für die Durchführung einer Vielzahl von Diffusionsprozessen. Seine innovativen Eigenschaften sorgen dafür, dass jeder Prozess reibungslos abläuft und hervorragende Produktausbeute liefert. Dank seiner Benutzerfreundlichkeit und der hochpräzisen Verarbeitung ist es eine gute Wahl für industrielle Diffusionsprozesse.
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