Gebraucht KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9242184 zu verkaufen
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ID: 9242184
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Vertical diffusion furnace, 8"
Oxide
Process: LPCVD ONO HTO
System controller: CX2001
SECS/GEM Communication: Load station
WIP Carrier storage, 8"
Wafer spacing: 5.5
Load size: 150 Slots
Boat rotation
Furnace:
Temperature controller: CQ1501A
(4) Zones
Heater type: Mid temp D4EX1048
Process temperature range : 600-625°
Flat zone length: 1200mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: SIC
Tube seal configuration: O-Ring Seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R
Process gases (LPCVD)
MFC: Z4400 / HORIBA STEC
Process gases: SiH4, HCL
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector
Power supply:
Heater voltage: Single phase, 280 VAC, 42 K A/C
Controllers: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
Clean unit: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
No N2 purged loadlock
2000 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V ist ein Diffusionsofen und Zubehör mit einer Vielzahl von Eigenschaften für Präzisionstechnikprozesse ausgestattet. Es ist ein thermisches Bearbeitungswerkzeug, das entwickelt wurde, um die Effizienz und Präzision von Prozessen wie Löten, Wärmebehandlung, Sintern, Löten, Kleben und anderen zu erhöhen. Das DJ-803V wird mit den neuesten Fortschritten in der Technologie entworfen und hergestellt. Sein mechanisches Bewegungs- und Antriebssystem wurde entwickelt, um die Ermüdung des Benutzers zu reduzieren und die Bewegungsmuster entsprechend dem erforderlichen Prozess zu korrigieren. Der Diffusionsofen besteht aus hochwertigem und langlebigem Material, so dass er in anspruchsvollen Anwendungen verwendet werden kann. Der Ofen ist mit fortschrittlichen Konstruktionskomponenten ausgestattet, die die Temperaturkonsistenz aufrechterhalten, mit einer konsistenten Heizrate von 0,1 bis 20C/min und einer Kühlrate von 10 bis 150C/min. Es ist auch mit hochpräzisen Sensoren, fortschrittlicher Wärmeüberwachung und einem automatischen Temperaturregler ausgestattet, um eine genaue Temperaturregelung sicherzustellen. Die DJ-803V hat zudem eine verbesserte Temperaturmessgenauigkeit von bis zu 0.01C. Der Diffusionsofen ist auch mit einer Reihe von zusätzlichem Zubehör ausgestattet, um die Funktionalität zu verbessern, wie Mikromanipulatoren, Ablationssonden, Spanaufzüge und Verdrahtungsmechanismen. Die Mehrzweckkammer ist auch zu einer Vielzahl von Verfahren fähig, von der ultrafeinen Partikelmanipulation bis zur Plasmapolymerfilmherstellung. Die Mikromanipulatoren ermöglichen eine präzise Manipulation von Mikrobaugruppen und Komponenten, während die Ablationssonden zur effektiven Markierung und Ätzung von Materialien verwendet werden können. Das DJ-803V bietet auch Sicherheitsfunktionen für Benutzer. Es verfügt über mehrere Sicherheitssensoren, die die Sicherheit des Prozesses ständig überwachen und Benutzer mit Alarmsignalen versorgen, sollte jede Temperatur die Betriebsgrenzen überschreiten. Darüber hinaus ist es mit Brandschutzmaßnahmen wie einem Hochtemperaturüberwachungssensor, automatischer Abschaltung und Heizungsverlustverhinderungssystem ausgestattet. Neben den fortschrittlichen Funktionen ist KOKUSAI VERTRON III DJ-803V durch sein gut konzipiertes Luftstromsystem, das eine gleichmäßige Temperaturverteilung in Kammer und Prozesskammer gewährleistet, unglaublich zuverlässig. Dies hilft, die Lebensdauer des Diffusionsofens zu maximieren und eine konstante und zuverlässige Leistung bei minimalen Ausfallzeiten zu erhalten. Vertron III/ DJ-803V ist mit seiner Kombination von Eigenschaften der perfekte Diffusionsofen für Anwendungen, die eine strenge Temperaturregelung und Genauigkeit erfordern.
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