Gebraucht KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9270558 zu verkaufen
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ID: 9270558
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Vertical LPCVD furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
CX2001 System controller
SECS/GEM Communication: Load station
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector: Process gas detection module
N2 Purged load lock
WIP Carrier storage capacity: 8"
Wafer spacing: 6.5 mm
Load size: 125 Slots
Boat rotation
Furnace:
CQ1501A Temperature controller
(4) Zones
D4EX02626 Heater: Mid temperature
Process temperature: 650°C-780°C
Flat zone length: 1200 mm
QUARTZ Process tube material
QUARTZ Wafer boat material
Tube seal: O-Ring seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R-Type
Process gas control system:
Process gases (LPCVD):
HORIBA STEC Z500 MFC
Process gases: DCS, NH3
Other gases: N2
Process pressure control system:
EDWARD QDP80 Vacuum pump
Dry pump capacity: QMB1200
Fore line size: 80
CX1204 Pressure controller
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader (Left/Right):
Integrated and base mounted with cassette optical light sensor detection
Heater voltage: 280 VAC, Single phase, 42 K A/C
Controllers: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
Clean unit: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
1999 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V Diffusionsofen ist eine vielseitige und hochzuverlässige Produktionsdiffusionsanlage mit der bewährten Qualität der KOKUSAI Halbleiterausrüstung. Das System verfügt über einen High-Power Top Side Heater (TSH) und Bottom Side Heater (BSH) mit gleichmäßigen Temperaturen bis zu 1180℃, zusammen mit einem beheizten Ofendeckel, der Hochtemperatur-Gleichmäßigkeit und schnelle thermische Einweichzeiten ermöglicht. Das KD-101E Steuergerät verfügt über ein leicht lesbares LCD-Touchpanel-Display, das die volle Kontrolle über bis zu fünf programmierbare Rezepte und eine breite Palette von Optionen bietet. Der Ofen enthält auch zwei unabhängige Kühlventilatoren, die eine hervorragende Temperaturregelung und wiederholbare Ergebnisse bieten. Darüber hinaus ist das DJ-803V mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich eines Sauerstoffsensors und einer automatischen Abschaltung, wenn der Sauerstoffgehalt einen vorgegebenen Sollwert unterschreitet. Die Maschine bietet eine präzise Temperaturregelung für die präzise Verarbeitung jeder Anwendung, einschließlich gleichmäßiger Hochtemperaturoxidfolie und präziser Phosphordiffusion. Die eingebaute Flat-Wafer-Fähigkeit von KOKUSAI VERTRON III DJ-803V ermöglicht eine effektive und gleichmäßige Verarbeitung großer Wafergrößen bis zur maximalen Größe von 6 "im Durchmesser. Die interne Temperaturregelung dieses Werkzeugs macht es für Anwendungen wie Diffusion, Oxidation und Glühen sowie In-situ-Dotierung mit präzisen und stark wiederholbaren Ergebnissen gut geeignet. Darüber hinaus kann Vertron III/ DJ-803V mit verschiedenen optionalen Zubehörteilen ausgestattet werden, um individuelle Kundenbedürfnisse zu erfüllen. Dazu gehören Stickstoffquellen zur Reinigung der Ofenkammer, Edelstahl-Waferträger, Niedertemperaturgeräte, Hochleistungshebestifte, Vakuum-Drucksysteme und fortgeschrittene Kühlventilatoren. Das optionale Zubehör macht die Anlage sehr vielseitig und in der Lage, eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen zu bedienen. VERTRON III DJ-803V ist ein ideales Modell für Tieftemperatur- und Hochtemperaturdiffusionen sowie Geräteherstellungsanforderungen. Die zuverlässige und gleichbleibende Leistung dieser Diffusionsanlage macht sie zu einer kostengünstigen Produktionslösung, die der Aufgabe der Präzision und qualitativ hochwertigen Diffusionsverarbeitung gerecht wird.
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