Gebraucht KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9272701 zu verkaufen
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ID: 9272701
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Vertical diffusion furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
CX2001 System controller
SECS/GEM Communication: Load station
Load station:
BROOKS SMIF Loader
WIP Carrier storage capacity: 8"
MIDAS Gas detector: Process Gas detection module
Wafer spacing: 6.5 mm
Load size: 125 Slots
Boat rotation
No N2 purged loadlock
Furnace:
CQ1501A Temperature controller
(4) Zones
D4EX02626 Heater: Mid temperature
Process temperature: 650°C-780°C
Flat zone length: 1200 mm
QUARTZ Process tube material
QUARTZ Wafer boat material
Tube seal: O-Ring seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R Type
Process gas control system:
Process gases (LPCVD):
HORIBA STEC Z500 MFC
Process gases: DCS, NH3
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader (Left/Right):
Integrated and base mounted with cassette optical light sensor detection
Heater voltage: 280 VAC, Single phase, 42 K A/C
Controllers: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
Clean unit: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
1999 vintage.
KOKUSAI Vertron III/ DJ-803V ist ein modernes Diffusionsofen und Zubehör, das für die genaue und präzise Kontrolle der Temperaturen in einer Vielzahl von Branchen entwickelt wurde. Es verfügt über eine Hochtemperaturkammer mit einer erweiterten geschlossenen Temperaturregelung zur präzisen Temperaturregelung sowie ein hochgenaues, hochgeschwindiges thermisches Ansprechmesssystem. KOKUSAI VERTRON III DJ-803V ist mit einer hocheffizienten Zwangsluftzirkulation konstruiert, die eine stabile und schnelle thermische Diffusion auch bei unterschiedlichen Temperaturen der Heizeinheit ermöglicht. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht auch einen effizienten Betrieb im Bereich von 5 ~ 1400 ° C und eine breite Palette von Heizmodus-Einstellungen, wie die kontinuierlichen und akkumulativen Pulsmodi. Es verfügt auch über mehrere zusätzliche thermische Steuermodi, wie die konstante Temperatur und eine programmierbare zeitgesteuerte Temperaturanpassung, um Anwendern eine größere Kontrolle über die thermischen Prozesse zu geben. Vertron III/ DJ-803V wird mit einer Vielzahl von Zubehör geliefert, um das Benutzererlebnis zu verbessern. Es enthält zwei Quarzquarzplatten und ein Aluminiumoxid-Quarzboot für eine zuverlässige Probenheizung. Der Ofen kommt auch mit einem LCD-Display, damit Benutzer die Temperatur und den Prozess überwachen können, sowie Datenerfassungsgeräte, um Daten und Programmeinstellungen zu speichern. Darüber hinaus verfügt dieser Diffusionsofen auch über eine Alarmeinheit zur Warnung von Benutzern bei unerwarteten oder gefährlichen Temperaturverschiebungen. Diese moderne Diffusionsofen und Zubehör-Maschine ist mit einer leistungsstarken, aber kompakten Stellfläche entworfen, so dass es einfach zu installieren und zu warten. Die hochwertigen Materialien in seiner Konstruktion bieten eine erhöhte Haltbarkeit und Zuverlässigkeit. Dank seiner effizienten Zwangsluftzirkulation ist es zudem sehr energieeffizient, da der vierseitige Ofenkörper dazu beiträgt, die Temperatur auch bei extremen Temperaturen konstant zu halten. VERTRON III DJ-803V ist eine ideale Wahl für Branchen und Anwendungen, die eine präzise Temperaturregelung erfordern. Es ist sehr zuverlässig, genau und energieeffizient und wird mit einer Vielzahl von Zubehör geliefert, um den Prozess einfacher und schneller zu machen. Die hocheffiziente Zwangsluftzirkulation mit ihrem vierseitigen Ofenkörper und der fortschrittlichen Temperaturregelung machen dieses Diffusionsofenwerkzeug zu einer großen Wahl für hochpräzise Industrien.
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