Gebraucht KOKUSAI Vertron III #9078066 zu verkaufen
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ID: 9078066
Weinlese: 1998
Vertical diffusion furnace
VDF-CVD-NITRIDE
1998 vintage.
KOKUSAI Vertron III ist ein Diffusionsofen, der für die ultrahochvakuumgenaue Abscheidung einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Diese vielseitige und robuste Ausrüstung bietet zuverlässige Leistung für kritische Anwendungen in der Halbleiter- und MEMS-Geräteherstellung. Vertron III (KV3) hat einen Temperaturbereich von 700 ° C bis 1100 ° C. Es ist mit einem Zirkoniumdioxid-Schutzschild ausgestattet, der es ermöglicht, während des Betriebs eine ultrahoche Vakuumatmosphäre aufrechtzuerhalten. Diese spezielle Abschirmung ermöglicht es, niedrige Verschmutzungen und niedrige Partikelanzahl zu erreichen, die für die Abscheidung von Hoch- und Tieftemperaturmaterialien erforderlich sind. Das System verfügt außerdem über eine Reihe von Steuerungsmerkmalen, wie einen hochtemperaturfähigen Reaktionstransporter (RQT) zur Regelung der Reaktionstemperaturen sowie ein Mehrtemperatur-Zonensteuerungsprogramm zur separaten Steuerung verschiedener Materialschichten und eines Temperaturbereichs von über 200 ° C in einem Arbeitsgang. Die Maschine schließt auch Hoch-Temperaturoverflow Atom Reception Panel (OARP) ein, die zur Durchführung bei Temperaturen über 1100°C fähig ist, dadurch helfend, einheitliche Absetzungsergebnisse zu sichern. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen automatischen Wafertransportlader, der ein automatisches Be- und Entladen und eine Niederdruck-Zufuhreinrichtung für die Filtration von Trägergas ermöglicht. Darüber hinaus ist das Modell auch mit einem automatischen Deposition Control Equipment (ADCS) ausgestattet, das eine präzise Kontrolle der Foliendicke und stabile Abscheideprozesse gewährleistet. Auch ein hochgenaues Echtzeit-Messsystem ermöglicht schnelle, präzise und konsistente Ergebnisse. In der Maschine ist auch eine Temperaturregeleinheit enthalten, die ein ausgewogenes Temperaturprofil über das Werkzeug erzeugt und eine gleichmäßige Abscheidung gewährleistet. KOKUSAI Vertron III eignet sich für den Einsatz in Ultrahochvakuumsystemen und ermöglicht die Herstellung sowohl metallischer als auch nichtmetallischer Beschichtungen auf verschiedensten Substraten. Es ist mit vielen hochmodernen Funktionen ausgestattet, die es in der Lage machen, hochpräzise Ablagerungen herzustellen, und ist die perfekte Wahl für Hersteller, die die perfekte Kombination aus Leistung und Qualität suchen.
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