Gebraucht MRL 1148G2 #9192211 zu verkaufen

MRL 1148G2 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von Siliziumscheiben in bester Qualität. Dieser Ofen besteht aus einer Aluminiumoxid-, Olivin- oder Graphitheizkammer. Es hat eine maximale Betriebstemperatur von 1.800 ° C und liefert einen Elektronenstrahl mit einer Leistung von 15kW bis 19kW. Die integrierten programmierbaren Steuerungen ermöglichen es dem Anwender, die gewünschten Prozessparameter für eine hohe Wiederholbarkeit des Diffusionsprozesses auszuwählen. Das integrierte Infrarot-Pyrometer sorgt für eine gleichmäßige Probenflächentemperatur, während das interne Sauerstoffdurchflussmessgerät die gewünschte Diffusionsprozessatmosphäre aufrechterhält. MRL 1148 G2 beinhaltet auch einen schnellen Kühlprozess zur Vermeidung der Bildung spröder Oxide und Spannungen während des Diffusionsprozesses und einen Quarzblasen zur Überwachung der Diffusionsprozessatmosphäre. Der Quarzblaser dient zum Nachweis der gewünschten kontrollierten Atmosphäre in der Prozesskammer und liefert einen kontinuierlichen Sauerstoffstrom. Neben dem Diffusionsofen ist auch ein Graphit-Suszeptor und eine Quarz-Wafer-Führung enthalten. Der in 1148G2 enthaltene Suszeptor sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung des Wafers während des Diffusionsprozesses. Die Quarzscheibenführung sorgt dafür, dass die Siliziumscheibe während des gesamten Prozesses zuverlässig am unteren Ende des Suszeptors gehalten wird. Die Möglichkeit, den Suszeptor innerhalb des Ofens neu zu positionieren, ermöglicht eine mehrfache, einmalige oder spezielle Waferdiffusion. 1148 G2 ist mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer Vakuum-Wärmedämmbarriere zur Aufrechterhaltung der Prozesseffizienz und zur Vermeidung von Schäden für den Benutzer. Der Sauerstoffdurchflussmesser sperrt auch den Gasstrom ab, wenn kein Sauerstoff festgestellt wird, wodurch gefährliche Explosionen oder Brände verhindert werden. Diese Wärmedämmbarriere und Sauerstoffabschaltung ermöglicht weiterhin eine Kühlung des Wafers nach Beendigung des Diffusionsprozesses. MRL 1148G2 ist Energy Star zertifiziert und benötigt weniger Energie, um den Diffusionsprozess im Vergleich zu anderen Diffusionsöfen abzuschließen. Das integrierte Pulverkühlsystem verhindert auch jegliche Bildung von unerwünschten Oxiden oder chemischen Verunreinigungen, um ein perfektes Ergebnis am Ende des gesamten Diffusionsprozesses zu gewährleisten.