Gebraucht POLYFLOW EP-C05 #9014479 zu verkaufen

POLYFLOW EP-C05 ist ein Diffusionsofen und Zubehör der POLYFLOW Corporation. Es ist speziell für die Herstellung von Halbleiterchips ausgelegt. Der Diffusionsofen ist mit einer Hochdruckheißzone ausgestattet, die Temperaturen bis zu 1400 ° C (2550 ° F) aufweist. Dies macht es ideal für Anwendungen mit hohem Seitenverhältnis (HAR) wie Well Doping, effektive Kanalanschläge, vertikale Brunnenprofile, Waffelstrukturbildung und selektive Emitterprofile. Diese Ausrüstung ermöglicht eine präzise Temperatur- und Zeitkontrolle der Dotierungsvorgänge, was zu hochwertigen Chips mit weniger belastungsbedingten Defekten führt. Die heiße Zone wird durch eine wassergekühlte Wand und einen Hochdruck-Ammoniakkreislauf abgedichtet und gekühlt, der ein schnelles Abschrecken ermöglicht und Verunreinigungen durch Luftverschmutzung verhindert. Der Ofen verfügt auch über eine sauerstofffreie Umgebung für erhöhte Reinheit, Gleichmäßigkeit und Ausbeute. Ein patentiertes Sauerstoff-Durchfluss-Sensorsystem bietet eine Echtzeit-Rückkopplung von Prozessparametern und hilft bei der Beseitigung von Metallisierungsfehlern nach dem Prozess. Neben dem Diffusionsofen umfasst EP-C05 auch eine Vielzahl von Zubehör. Das erste ist ein RTP-Modul, das aus mehreren Quenchmant-Köpfen mit automatisierten Zyklussteuerungsfunktionen besteht. Dies gewährleistet gleichmäßige Heiz- und Kühlraten und eine präzise Temperaturregelung, die eine genauere und zuverlässigere Dotierung des Wafers ermöglicht. Der zweite ist ein fortgeschrittener Höhenregelmechanismus, der das Substrat in einem präzisen und einstellbaren Abstand vom Wafer hält und eine präzise Gleichmäßigkeit der nachfolgenden Prozessschritte ermöglicht. Weiteres Zubehör umfasst eine integrierte Web-Kamera-Einheit für die Echtzeit-Prozessüberwachung, eine individuelle Werkzeugaufteilung zur Verbesserung der Driftsteuerung und Verringerung der Wafer-zu-Wafer-Variation sowie eine Vielzahl von Wafer-Adaptern für effiziente Abläufe. Zusätzlich nutzt die Maschine einen stabilen, emissionsarmen Quarz für eine überlegene thermische Stabilität bei Diffusionsprozessen. Kombiniert machen diese Eigenschaften und das Zubehör POLYFLOW EP-C05 den idealen Diffusionsofen für jede Chipherstellung.