Gebraucht SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 LH #9025672 zu verkaufen
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ID: 9025672
LPCVD Reactor furnace
Control unit
Manual
Facility requirements:
Furnace: 150 Amps
Vacuum pump: 150 Amps
Nominal voltage: +/- 15%
Nominal frequency: +/- 5%
Exhaust:
Furnace cabinet exhaust: 10" Duct
Minimum pressure: (-.5 in) at 900 CFM
Gas cabinet: 6" Duct
Minimum pressure: (-.5 in.) at 250 CFM
Process chamber:
1/2" Swagelock:
Minimum pressure: (-.5 in.) at < 1 CFM
3/4" Swagelock
Minimum pressure: (-.5 in.) at 5 CFM
Vacuum:
Wafer handling: 1/4" Swagelock - 24" HG static
Cooling water:
Cannister and baseplate:
1/2" Swagelock - 2 GPM at 20 psi inlet to outlet differential pressure
Maximum differential pressure: 40 PSI
Maximum inlet pressure:100 PSI
Swagelock return line, 1/2"
Drains:
Acid drain (Optional on wet ox)
Teflon tubing: 1/2"
Clean dry compressed air:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
20 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM Used for pneumatic control
15 CFM Used for element / Jar movement
Nitrogen - non process:
1/2" Swagelock - 80 PSI Minimum
5 CFM: Typical
30 CFM: Peak (100 PSI Max)
5 CFM: Baseplate (Used at high temp only)
25 CFM: Furnace filter (Used only when filter or fan fails)
30 CFM: Non-process nitrogen
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60/60 Hz, 150 A.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 LH ist ein Diffusionsofen, der mit einem niedrigen Herdentwurf für kleinere Teile und einem großen Herdentwurf für größere Teile ausgestattet ist. Es ist ideal für die Massenproduktion von Halbleiterscheiben. Der Diffusionsofen ist mit Mehrfachzonen-Temperaturregelung ausgelegt, die den Benutzern eine präzise Kontrolle über ihre thermische Verarbeitung gibt. Dieses Gerät verfügt über integrierte Temperatursensoren, die eine höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in jeder Zone ermöglichen. Das System verfügt auch über Niedertemperatur-Tränkfähigkeit und erweiterte Ofenprogrammierung, die beide eine optimale Ofensteuerung bieten. Zusätzlich enthält SEMITOOL VTP 1500 LH mehrere Zubehörteile für verbesserte Benutzerfreundlichkeit. Lastmanipulation wird mit den mitgelieferten gelenkigen und manuellen Hebesystemen leicht gemacht, die verwendet werden können, um Teile innerhalb des Ofens schnell und sicher zu bewegen. Ein horizontaler Konvektionsventilator sorgt für eine ordnungsgemäße Luftzirkulation und eine gleichmäßige Erwärmung im gesamten Ofen. Benutzer haben auch die Möglichkeit, eine automatisierte Lüfter-Verschluss-Einheit, Bewegungs-Steuerung Glocke Maschine, lehr, und anderes Zubehör für zusätzliche Präzision hinzufügen. Dieser langlebige und zuverlässige Diffusionsofen bietet auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein Druckwerkzeug, doppelwandige Kammerrohre und schwere Türscharniere. Die Anlage hat eine maximale Betriebstemperatur von bis zu 1400 ° C, und seine Heizelemente bestehen aus einer fortschrittlichen Legierung, die extreme Temperaturen aushalten kann. Ein modernes Bedienfeld ermöglicht es Benutzern, alle Einstellungen und Operationen des Ofens genau zu verwalten. Insgesamt ist SEMITHERM VTP 1500LH ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der sich perfekt für die Produktion von großflächigen Halbleitern eignet. Seine Mehrzonen-Temperaturregelung, integrierte Temperatursensoren und Tieftemperatur-Tränkfähigkeiten geben Benutzern beispiellose Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Das Modell hat auch mehrere benutzerfreundliche Funktionen wie die gelenkigen und manuellen Hebesysteme, automatisierte Lüfter-Verschlusseinrichtungen, lehr und vieles mehr. Schließlich machen seine hochwertigen Heizelemente und Sicherheitsmerkmale VTP 1500LH zu einem zuverlässigen und langlebigen Diffusionsofen.
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