Gebraucht SEMITHERM / SEMITOOL VTP 1500 #9316770 zu verkaufen

ID: 9316770
Vertical furnace Robot missing.
SEMITHERM/SEMITOOL VTP 1500 Diffusionsofen ist eine thermische Verarbeitungsanlage für Wafer-Ebene thermische Verarbeitungsanwendungen wie Glühen, Rekristallisieren und Oxidation. Ziel des Systems ist es, einer Vorrichtung bestimmte Änderungen vorzunehmen, um ihre elektrischen, optischen oder mechanischen Eigenschaften zu verbessern. Das Gerät verfügt über einen modularen Aufbau, der je nach Bedarf eine Erweiterung ermöglicht. Die Maschine besteht in der Regel aus einer Steuerung, Stromversorgung, Wärmeprozessor, Heizkomponenten und anderem Zubehör. Der Controller bietet eine benutzerfreundliche Schnittstelle zur Programmierung und Überwachung von Werkzeugparametern. Die Stromversorgung regelt die von den Heizkomponenten genutzte Montageleistung und sorgt für eine Drahttrennung. Der thermische Prozessor enthält eine Reihe fortschrittlicher Algorithmen, die zur Steuerung des Temperaturprofils des Geräts verwendet werden, um sicherzustellen, dass die richtige Temperatur an allen Stellen während des Prozesses erreicht wird. Die Heizkomponenten enthalten speziell konstruierte Heizelemente auf Thermoelementbasis, die eine präzise Temperaturregelung und gleichmäßige Erwärmung des Wafers ermöglichen. SEMITOOL VTP 1500 wurde entwickelt, um mehrere simultane Prozesse auszuführen, so dass bis zu acht verschiedene Prozesse gleichzeitig ohne Unterbrechung ausgeführt werden können. Dies ist insbesondere bei Serienreihen sinnvoll. Es hat auch ein eingebautes Thermokompressionsmodell, das direkte Wärme auf den Wafer aufbringt, ohne dass eine Vakuumumgebung erforderlich ist. Dies reduziert die Zykluszeit durch Verbesserung der Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit. SEMITHERM VTP1500 ist eines der fortschrittlichsten Diffusionssysteme auf dem Markt, mit Funktionen wie schnelles Temperaturrampen, hochgenaue Temperaturregelung und eine vielseitige Palette von Heizmöglichkeiten. Der modulare Aufbau und die große Auswahl an Zubehör machen es perfekt für Fertigungsprozesse für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein robustes Design und seine hochwertigen Komponenten machen es zu einer zuverlässigen und langlebigen Ausrüstung, die über Jahre hinweg eine hervorragende Leistung bietet.
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