Gebraucht STS PC-310 #293823806 zu verkaufen

ID: 293823806
Wafergröße: 4"
PECVD System, 4" Process chamber Control cabinet Operator PC Gas line connections Accessories.
STS PC-310 ist eine hochwertige Diffusionsofenanlage, die für eine präzise und effiziente thermische Verarbeitung von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System ist mit einer Reihe von Funktionen und Zubehör ausgestattet, die eine außergewöhnliche Kontrolle und Flexibilität der Verarbeitungsparameter ermöglichen und es zu einer idealen Lösung für Forschungs- und Produktionsumgebungen machen. PC-310 Diffusionsofen ist vertikal aufgebaut, was den Platzbedarf minimiert und gleichzeitig den Bearbeitungsbereich maximiert. Dieses Design ermöglicht eine effiziente Raumnutzung im Reinraum und eine einfache Integration in bestehende Prozesslinien. Der Ofen ist mit hochwertigen Materialien gebaut und verfügt über eine robuste Konstruktion, um langfristige Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten. Die Ofenkammer besteht aus hochreinem Quarz, der eine ausgezeichnete thermische Stabilität und gleichmäßige Temperaturverteilung während der Verarbeitung bietet. Die Kammer wird durch eine Reihe von Widerstandsheizungen beheizt, die strategisch platziert werden, um eine gleichmäßige Erwärmung des Wafers zu gewährleisten. Der Temperaturbereich des Ofens ist einstellbar und kann bis zu 1200 Grad Celsius erreichen, so dass eine breite Palette von thermischen Prozessen durchgeführt werden kann. Das STS PC-310 Gerät ist mit einer präzisen Gasströmungssteuerungsmaschine ausgestattet, die die Einleitung verschiedener Prozessgase in die Kammer ermöglicht. Dies ermöglicht die Anpassung der Atmosphäre innerhalb der Kammer an die spezifischen Anforderungen verschiedener Prozesse. Das Gasdurchflussregelwerkzeug ist mit Massendurchflussreglern integriert, die genaue und wiederholbare Gasdurchflussraten gewährleisten und die Wiederholbarkeit und Kontrolle des Prozesses verbessern. Zur Überwachung und Steuerung der Verarbeitungsparameter ist PC-310 Diffusionsofen mit einer benutzerfreundlichen Steuerschnittstelle ausgestattet. Die Schnittstelle liefert Echtzeitdaten zu Temperatur, Druck und Gasdurchfluss innerhalb der Kammer, so dass Bediener die Prozessbedingungen überwachen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen können. Die Steuerung umfasst auch programmierbare Rezepte, die die Automatisierung von Prozessabläufen ermöglichen, die Effizienz verbessern und menschliches Versagen reduzieren. Neben dem Diffusionsofen kommt STS PC-310 mit einer Reihe von Zubehörteilen, die seine Funktionalität und Vielseitigkeit verbessern. Eines der Schlüsselzubehörteile ist das Lastschloßmodell, das ein nahtloses Be- und Entladen von Wafern in die Kammer ermöglicht, ohne die Prozessbedingungen zu stören. Diese Funktion reduziert Ausfallzeiten zwischen den Abläufen und sorgt für konsistente Verarbeitungsergebnisse. Ein weiteres wichtiges Zubehör ist das Rapid Thermal Annealing (RTA) Kit, das eine schnelle Erwärmung und Kühlung des Wafers ermöglicht, um Glühprozesse zu erleichtern. Der RTA-Kit ist in die Steuereinrichtung integriert und ermöglicht eine präzise Regelung der Temperaturrampenraten und Haltezeiten, um die gewünschten Glühergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist PC-310 Diffusionsofen ein hochmodernes System, das außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für thermische Verarbeitungsanwendungen bietet. Die fortschrittlichen Funktionen, die präzise Steuerung und das Zubehörprogramm machen es zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen, in denen eine präzise Kontrolle über thermische Prozesse unerlässlich ist.
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