Gebraucht SVG / THERMCO 5100 #9265352 zu verkaufen

SVG / THERMCO 5100
ID: 9265352
Wafergröße: 6"
Systems, 6".
SVG/THERMCO 5100 ist ein Diffusionsofen, der entwickelt wurde, um ultrahochreine und präzise Ofenleistung zu bieten. Es ist die ideale Wahl für reproduzierbare, enge Prozessgleichmäßigkeit und schnelle Prozesszykluszeiten. SVG 5100 verfügt über ein preisgekröntes Design bestehend aus sieben Zonen, die für die komplette Waferbearbeitung individuell gesteuert oder programmiert werden können. Die sieben Zonen sind für die Diffusionsbearbeitung von unterschiedlich großen Wafern von kleinen bis einschließlich großen Wafern ausgelegt. Jede Zone ist mit fortschrittlichen variablen Wärmezonen ausgestattet, die alle Anforderungen erfüllen, wenn es um ein Prozessrezept geht. Die verschiedenen Zonen sind mit mehreren Heizelementen ausgestattet, die in Echtzeit aktiviert werden können, um eine schnelle und genaue Erwärmung für Produktzyklen zu gewährleisten. Die elektrischen Eigenschaften der Ofenelemente variieren von Zone zu Zone, um unterschiedliche Wafergrößen und Verarbeitungsbedingungen aufzunehmen. Die elektrischen Elemente werden präzise gesteuert, um unterschiedliche Temperaturen von 300 ° C bis 1.500 ° C zu ermöglichen. Damit eignet sich THERMCO 5100 bestens für eine Reihe von Prozessen, wie Reaktionsglühen, Spannungsglühen und Verunreinigungsdiffusion in Wafern. Um einen konsistenten und wiederholbaren Glühprozess zu gewährleisten, ist 5100 mit Luftzirkulationsventilatoren und temperaturgesteuerten Fensteröffnungen ausgestattet. Die Maschine ist mit einem programmierbaren Timer ausgestattet, mit dem Benutzer die Temperatur und Breite jedes Prozesszyklus einstellen können. Darüber hinaus können Anwender von einem einzigen Remote-Terminal aus auf den gesamten Prozess zugreifen und ihn überwachen. In Kombination mit einer inerten Atmosphäre (wie Stickstoff oder Argon) ermöglicht SVG/THERMCO 5100 den Anwendern einen extrem reinen Diffusionsprozess unter Beibehaltung der Gleichmäßigkeit von 2 ° C während des gesamten Prozesses. SVG 5100 verfügt auch über eine Reihe von Zubehör wie Prozesskammern, Druckausgleichsarmaturen und Vakuumpumpen, so dass viele verschiedene Anwendungen. THERMCO 5100 ist für überlegene Sicherheit und Leistung konzipiert, mit Sicherheitsverriegelungen und Notabschaltschutz. Darüber hinaus verfügt der Ofen über eine komplette Reihe von Betriebsalarmen, die Prozessprobleme erkennen und verhindern, dass der Ofen katastrophal ausfällt. Insgesamt ist 5100 ein außergewöhnlich vielseitiger und zuverlässiger Diffusionsofen, der eine zuverlässige Prozesssteuerung mit überlegenen Sicherheitsmerkmalen bietet. Der modulare Aufbau und die fortschrittlichen Eigenschaften des Ofens bieten eine effiziente und zuverlässige Plattform für alle Anforderungen an den Diffusionsprozess.
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