Gebraucht SVG / THERMCO 5100 #9265353 zu verkaufen

SVG / THERMCO 5100
ID: 9265353
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
System, 6" 2001 vintage.
SVG/THERMCO 5100 ist ein Diffusionsofen und Zubehör von SVG, Inc.Entworfen, um eine präzise Steuerung der Waferdiffusionsprozesse bereitzustellen. Dieses Tool ist ein fortschrittliches Laborsystem, das für Forschung und Entwicklung (F&E) und für Hochtemperaturdiffusions- und Glühprozesse verwendet wird. Es handelt sich um einen horizontalen Mehrzonen-Ofen, der über eine Vielzahl von Funktionen verfügt, darunter Hochtemperaturfähigkeit, präzise Temperaturregelung und mehrere Konfigurationen. Dieser horizontale Ofen besteht aus einer inneren Isolierschale, einer äußeren Gehäusestruktur und einem Mehrzonenheizabschnitt. Es enthält auch eine Abhebeabdeckung (LFC) und einen Balgmechanismus für einen effektiven Balgbetrieb und eine hervorragende Gleichmäßigkeitskontrolle. Das LFC sorgt für eine niedrige Partikelzahl und gleichmäßige Prozesstemperaturen. SVG 5100 ist mit einem digitalen CRIUS-Controller und einem programmierbaren Logikcontroller (SPS) ausgestattet, um eine präzise Echtzeit-Temperaturregelung zu gewährleisten. Der CRIUS Digital Controller ermöglicht das Einrichten und Überwachen von Tastentemperatureinstellungen und Echtzeitmessungen der tatsächlichen Betriebsparameter des Ofens. Die SPS liefert die Prozessanpassungen für Gleichmäßigkeits- und Wiederholungsdaten und legt die erforderlichen thermischen Profile des Ofens fest. Dieser Ofen hat eine Heizzone, die zwei Infrarot-Quarzelemente für Temperaturgleichmäßigkeit über die volle Waferbreite enthält. Es verfügt auch über Schutzelemente, sogenannte elektrische Sicherheitsverriegelungen, die versehentliche Beschädigungen des Werkzeugs verhindern. Schließlich optimiert das ausgeklügelte Temperiermodul die Gleichmäßigkeit der Temperaturen über die beheizten Zonen hinweg weiter. THERMCO 5100 verfügt auch über Umweltsicherheitskontrollen, die die Lebensdauer des Ofens verbessern sollen. Ein Inertgasspülsystem ermöglicht die Einführung von Stickstoff, Argon, Wasserstoff, Helium oder einem anderen Inertgas, um einen wirksamen Schutz vor Oxidation und Kontamination zu bieten. Dieses System gewährleistet höchste Standards in Bezug auf Sicherheit, Sauberkeit und Prozesswiederholbarkeit für längere Zeit. Dieses kostengünstige und effiziente Hochtemperatur-Diffusions- und Glühwerkzeug von THERMCO, Inc ist ideal für die Herstellung von hochakzeptabler Wafer-Gleichmäßigkeit und Genauigkeit für Anwendungen mit hohem Volumen wie Halbleiterverpackungen, MEMS und Nanochip-Integration. Seine zuverlässige Temperaturregelung, ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit und Umweltsicherheitsmerkmale machen 5100 zu einer ausgezeichneten Wahl für Forschungs- und Entwicklungslabore, wenn Qualität und Präzision von größter Bedeutung sind.
Es liegen noch keine Bewertungen vor