Gebraucht SVG / THERMCO 5100 #9411905 zu verkaufen
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ID: 9411905
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2011
Horizontal diffusion furnaces, 6"
Stack 1: High temperature oxide
Stack 2: Oxide
Stack 3: P-type oxidation
Stack 4: N-type oxidation
TMX Controller
SCHUMACHER Delivery and bubblers
CRYCO Boat loaders
2011 vintage.
SVG/THERMCO 5100 ist ein Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung ideal für eine Vielzahl von schwierigen thermischen und chemischen Verarbeitungsanwendungen. Das SVG 5100 verfügt über eine beeindruckende Auswahl an Funktionen und kann die Prozesseffizienz zuverlässig maximieren, die Batch-Gleichmäßigkeit verbessern und die Zykluszeit reduzieren. Der Hauptkörper des THERMCO 5100 Systems besteht aus einer Stromversorgung, einer Pumpe und einer Hochvakuumkammer. Die Stromversorgung, die in einem zweitürigen Schrank untergebracht ist, ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und bietet präzise Echtzeittemperaturen. Die Pumpen, die sich im Inneren der Hauptkammer befinden und durch den Sichtbereich sichtbar sind, bieten höchste Zuverlässigkeit und sorgen dafür, dass die gewünschten Prozessparameter erreicht werden. Innerhalb der Kammer kann eine zusätzliche Pumpstation installiert werden, so dass der Benutzer bis zu drei Pumpensätze haben kann. Dadurch zeigt 5100 eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit in der gesamten Kammer. SVG/THERMCO 5100 Unit bietet auch viele erweiterte Zubehörteile, um die Leistung zu verbessern und Prozesse zu optimieren. Es verfügt beispielsweise über eine Vielzahl von modularen Waferträgern, die ein schnelles, sicheres Be- und Entladen von Wafern ermöglichen. Es verfügt auch über mehrere Vakuumsteuerungsmöglichkeiten, darunter ein manuell einstellbares Ventil und eine automatische Steuerung sowie bei Bedarf eine Inertatmosphäre-Steuermaschine. Schließlich ist eine optionale Quarzlampenfassung mit unabhängiger Stromversorgung verfügbar, so dass Lichter in der Kammer für die Waferbearbeitung installiert werden können. Kombiniert machen diese Eigenschaften SVG 5100 zu einem zuverlässigen und hocheffizienten Diffusionsofen und Zubehörwerkzeug. Es bietet eine präzise Temperaturregelung, und seine Waferträger, Vakuumsteuerungsoptionen und unterstütztes Zubehör ermöglichen es Benutzern, ihre Anlage an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen. Dies wiederum führt zu einem höheren Durchsatz und zuverlässigeren Ergebnissen.
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