Gebraucht SVG / THERMCO 5200 #9250085 zu verkaufen

SVG / THERMCO 5200
ID: 9250085
Wafergröße: 6"
Diffusion furnaces, 6".
SVG/THERMCO 5200 Diffusionsofen ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung von Wafern mit exakter und gleichmäßiger Dicke. Dieser vollautomatisierte Ofen bietet eine Vielzahl von Zubehör für die Anpassung des Wafer-Produktionsprozesses, so dass Ihre Produktionsanforderungen mit höchster Genauigkeit und Präzision erfüllt werden. SVG 5200 ist ein Einzonenofen mit einem fortschrittlichen Zonentemperaturregelungssystem, das die perfekte Atmosphäre für chemische Dampfabscheidungs- (CVD) und chemisch-mechanische Planarisierungsprozesse (CMP) bietet. Dieser Ofen kann Temperaturen bis zu 1000C erreichen, bei gleichmäßigen und stabilen Temperaturen über die gesamte Zone. Für maximale Genauigkeit ist THERMCO 5200 mit einem optischen Quarzfenster zur kontinuierlichen Überwachung sowie einem Gasstromdetektorsystem ausgestattet, das eine optimale Reinheit und Rückverfolgbarkeit bei der Herstellung neuer Wafer gewährleistet. 5200 ist auch sehr konfigurierbar, so dass Benutzer mehrere Prozessparameter anpassen können. Durch Veränderung des Gasstroms oder des Drucks der Glühatmosphäre können Anwender die gewünschten Dicken und optischen Eigenschaften in ihren Wafern erreichen. Damit die hohe Temperaturgleichmäßigkeit von SVG/THERMCO 5200 erhalten bleibt, ist der Ofen mit einem aktiven wassergekühlten Diffusionsbehälter ausgestattet. Der Liner sorgt für optimale Ergebnisse, indem er eine konstante, konstante Temperatur in der gesamten Glühzone liefert. Für noch geringere Wärmegradienten kann auch eine optionale Graphitisolierabdeckung eingebaut werden. Neben der Temperaturregelung verfügt SVG 5200 auch über erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen wie Drucküberwachung, externe Gassteuerung und Sauerstoffabbaukontrolle. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender ihre Prozesse streng kontrollieren und gleichzeitig ihr Risiko für Kontaminationen oder andere Produktionsfehler verringern können. THERMCO 5200 ist kompatibel mit einer ganzen Reihe von Zubehör, einschließlich Quarz-Suszeptor, Quarz-Lift-Stifte, und eine abnehmbare Graphitvorrichtung. 5200 Diffusionsofen bietet eine effiziente und zuverlässige Glühlösung für die Herstellung von hochwertigen, einheitlichen Wafern. Mit seinem erstklassigen Temperaturregulierungssystem können Anwender sicher sein, dass ihre Wafer mit höchster Genauigkeit und Präzision produziert werden. SVG/THERMCO 5200 bietet durch seine vielfältigen Konfigurationsmöglichkeiten und das zahlreiche optionale Zubehör die für einen erfolgreichen Wafer-Produktionsprozess erforderliche Vielseitigkeit und Optimierung.
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