Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863 zu verkaufen

SVG/THERMCO/AVIZA 5000 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterherstellung. Der Ofen ist für kontrollierte Diffusions-, Glüh- und Oxidationsprozesse ausgelegt. Es verfügt über modernes Ofendesign und Verarbeitungsflexibilität, die Präzisionstemperaturregelung und ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit während der gesamten thermischen Masse ermöglicht. Seine fortschrittliche Doppelkammer-Konstruktion mit einer beheizten Billet-Transferkammer bietet eine maximale Isolierung und Kontrolle der thermischen Umgebung sowie eine überlegene Prozessgleichförmigkeit. Der SVGTSVG 5000 ist mit einem leistungsstarken Suszeptor ausgestattet, der von einem einzigen Tiegeleinsatz und Isothermaljacke umschlossen ist und eine präzise Temperaturregelung und verringerte thermische Verschmutzung ermöglicht. Der Ofen umfasst automatisierte und manuelle Pumpsysteme, elektronisch gesteuertes Inertgas sowie erweiterte Temperatur- und Drucküberwachungsfunktionen. Der Ofen verfügt auch über 5-Zonen-programmierbare Heizungen, die eine präzise Temperaturregelung bis 2000 ° C ermöglichen. Die Heizzonen sind in drei innere und zwei äußere Zonen unterteilt, die eine optimale Temperaturgleichförmigkeit und -regelung sowie reduzierte Gradienten bieten. Die unabhängig einstellbaren und programmierbaren Innenzonen sind so konzipiert, dass sie Wärmeübertragungszeiten verkürzen und eine konsistentere Leistung erzielen. Der Ofen umfasst auch eine Reihe von zusätzlichen Prozessfunktionen wie erweiterte Sicherheitsüberwachung und Alarmfunktionen, einschließlich PID-Temperaturregelung und Übertemperaturschutz. Darüber hinaus umfasst der Ofen ein Sauerstoffspül-/Reduktionssystem, das eine effektive Kontrolle des Oxidationsprozesses ermöglicht. Um wiederholbare Leistung und konsistente, zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten, wird der Ofen mit einem fortschrittlichen Isolier- und Kühlsystem gebaut. Die Konstruktion verfügt über eine epoxidgefüllte doppelmodulare isolierte Kammer und ein integriertes PCR-Kühlsystem, das eine gleichmäßige Kühlung über die gesamte thermische Masse ermöglicht. Die Isolierung sorgt für eine bessere Temperaturgleichmäßigkeit innerhalb der Prozesskammer und eine effiziente Kühlung, wodurch die Leistung des Prozesses auch bei höchsten Temperatureinstellungen reproduzierbar ist. Der Ofen ist einfach zu bedienen, mit einer großen Touchscreen-Schnittstelle mit einer Reihe fortschrittlicher Prozessfunktionen, intuitiver Programmierung und Steuerung, automatisierten Wafer-Handling-Systemen und Online-Überwachung und -Diagnose. Die Benutzeroberfläche ist für einfache Bedienung konzipiert, mit intuitiven Bedienelementen und Displays, die es einfach machen, Rezepte zu erstellen, zu überwachen und anzupassen. Der Ofen ist für anspruchsvolle Produktions- und Forschungsanwendungen konzipiert und bietet schnelle, wiederholbare und zuverlässige Leistung.