Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA 5200 #9225999 zu verkaufen
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SVG/THERMCO/AVIZA 5200 Diffusionsofen ist ein robuster, zuverlässiger und vielseitiger Diffusionsofen, der jahrelang eine ununterbrochene und überlegene diffusante Verarbeitungsleistung bietet. SVG 5200 bietet eine präzise Temperaturregelung in allen Diffusionsstufen und bietet verbesserte Prozessausbeuten. AVIZA 5200 ist mit einer einzigartigen und patentierten Vertical Steel Framed Hot Zone ausgestattet, die bis zu vier 800mm ² Waferträger gleichzeitig handhaben kann. Dieses innovative Design ermöglicht eine Großserienfertigung, was zu einer schnelleren Umdrehungszeit führt. Zum Ofen gehört auch ein plasmaverstärkter chemischer Dampfabscheidungskit (PECVD), der hochwertige, defektarme, diffuse Schichten erzeugt und die Ausbeuten weiter steigert. Der Ofen ist hochflexibel und bietet die Möglichkeit, eine breite Palette von Scheibengrößen bis 25 mm Durchmesser aufzunehmen. Mit dieser Funktion können Bediener einen höheren Durchsatz erreichen, ohne Wafer übertragen oder Einstellungen anpassen zu müssen. Ein benutzerfreundlicher Controller sorgt dafür, dass Einstellungen und Parameter intuitiv und präzise eingegeben und gewartet werden, was einen minimalen Eingriff des Bedieners erfordert. Um maximale Sicherheit zu gewährleisten, kommt 5200 Diffusionsofen mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Fail-Safes, offene Deckelerkennung, und ein Sicherheitssystem. Es bietet auch hervorragende thermische Leistung und Umweltschutz, unter Beibehaltung der Temperaturgenauigkeit von ± 1 ° C in der heißen Zone und ± 0,1 ° C in der kühlen Zone. Weitere Merkmale des THERMCO 5200 Diffusionsofens sind: mehrprogrammige Speicherung und Rückruf, konfigurierbare Rezepte, manueller oder automatischer Betrieb, mehrere Heizrate Optionen und Systemüberwachungssoftware. Dieser Ofen wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass die Anwender mit seinem hochmodernen Design, hochwertigen Materialien und unübertroffener Technik mit den besten Ergebnissen bedient werden.
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