Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980 zu verkaufen

SVG/THERMCO/AVIZA 5204 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Waferbearbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie. Dieses System bietet eine optimale Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit für eine optimale Geräteleistung. Die Kammergröße beträgt 375x350x250 mm, und die Kammer kann Temperaturen bis zu 1150 ° C erreichen. SVG 5204 verfügt über eine kundenspezifische Wafer-Ladeeinheit und eine interne Kassette zur Kassettentransportmaschine. Der Innentemperatursensor sorgt für Genauigkeit und steuert Temperaturprofile. Die radiale Diffusionszeit ist einfach einzurichten und bietet eine breite Wiederholbarkeit. Weitere Merkmale sind eine Precision Swing Arm Load Lock (PAL) -Kammer, hochgradige Keramikfaszien, Festkörperleistungsregelungsschaltungen und PID-Steuerung mit AutoTune-Werkzeug. Das Heizelement der AVIZA 5204 ist ein geerdetes elektrisches Widerstandselement mit einem Widerstand von 1 Ohm pro Element. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Kammer gewährleistet. Die Temperaturregelung ist während des gesamten Prozesses genau und konsistent. Für eine verbesserte Sicherheit und Temperaturgenauigkeit gibt es auch einen unabhängigen Wärmefangschild zwischen den Heizelementen und der Kammer. Der Diffusionsofen weist außerdem eine Gasverteilungsdüse für einen gleichmäßigen Gasstrom auf. Es verfügt über einen Edelstahlbalg zur Gasschaltung sowie einen separaten Ein-/Ausschalter für den Auspuffventilator. Der Lüfter kann auf die gewünschte Geschwindigkeit für maximalen Wirkungsgrad eingestellt werden. Der Bordcomputer überwacht und protokolliert alle Daten, um Kontrolle und Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst 5204 Zubehör einen Graphit-Suszeptor, hochtemperaturdynamische Prozesskabel, Hochtemperatur-Prozessleitungsflansche und einen aggressiven Prozessleitungsstecker mit niedriger Temperatur. Jedes Zubehör dient einem wichtigen Zweck im Gesamtdesign der Ofenanlage. Das Diffusions- und Zubehörmodell THERMCO 5204 sorgt für genaue, konsistente und wiederholbare Ergebnisse während des gesamten Waferherstellungsprozesses. Es ist eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller und Forschungslabore, die nach zuverlässigen, effizienten und kostengünstigen Lösungen suchen.