Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9168928 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9168928
Wafergröße: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: TEOS
Chamber
Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB1200 Pump
Gas manifold box
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000 ist ein professionelles Diffusionsofen und Zubehörpaket. Es wird für eine Vielzahl von Forschungs- und Fertigungsprozessen verwendet, einschließlich der Herstellung von Halbleitern und optischen Bauelementen, Mikroelektronik, Materialabscheidungsprozesse und vieles mehr. SVG AVP 8000 besteht aus einem temperaturgesteuerten Tiegelofen mit Graphitsensizeptor, einer CVD-Kammer, einer Heißzonenanordnung, einem Vakuum-Differentialpumpsystem, einem Wasserbad, einem Paar Manipulatoren und verschiedenen anderen Zubehörteilen. AVIZA AVP 8000 ist für präzise Temperaturregelung, schnelle Heizraten und die Fähigkeit, gleichmäßige, hochwertige Schichten wachsen. Es verfügt über einen Temperaturbereich von bis zu 1370 ° C, mit einer Genauigkeit von ± 2 ° C. Sein robuster wassergekühlter Tiegel unterstützt eine breite Palette von Tiegelgrößen und -formen und kann bis zu 40 Kilogramm Ladung handhaben. Die CVD-Kammer kann eine breite Palette von chemischen Aufdampfverfahren (CVD) und chemisch-mechanischen Polierverfahren (CMP) bereitstellen. Es ist mit einer Reihe von koaxialen Quarzrohren ausgelegt, die eine sichere und kontrollierte Lieferung der gasförmigen Arten ermöglichen. Darüber hinaus ist es mit einer beheizten Suszeptorplatte ausgestattet, um eine thermische Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, und der Druck in der Kammer kann durch Differentialpumpen eingestellt werden. Das Herzstück von THERMCO AVP 8000 ist die Hot-Zone-Montage. Dazu gehören ein Aluminiumgusskörper, ein Graphit-Suszeptor und eine Heizelementanordnung. Es verfügt außerdem über eine überlegene Dichtung und eine einstellbare Düsenspitze, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu steuern und eine enge thermische Passform zu gewährleisten. Schließlich kommt AVP 8000 mit einem Satz von Manipulatoren, um eine genaue Positionierung von Proben innerhalb der Hot-Zone-Montage zu ermöglichen. Die Manipulatoren sind mit einem fortschrittlichen Positionslesesystem ausgestattet, um die Platzierung von Proben zu erleichtern und genau zu gestalten. Insgesamt ist SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000 ein professionelles Diffusionsofen und Zubehörpaket, das entwickelt wurde, um eine genaue und effiziente Kontrolle der Temperatur, des Drucks und der Probenplatzierung zu gewährleisten. Er eignet sich besonders gut für CVD- und CMP-Anwendungen mit der Fähigkeit, Temperatur und Druck präzise zu steuern und gleichzeitig eine überlegene Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. SVG AVP 8000 ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug und kann in einer Vielzahl von Forschungs- und Fertigungsprozessen eingesetzt werden.
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