Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9172756 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
![Loading](/img/loader.gif)
Verkauft
ID: 9172756
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
Vertical LPCVD furnace, 8"
SELOX
Process type: Selective oxidation
System interface:
Computer: Sun ultra 5
System software: AVP Software version 2.6.1
Printer assy: No
Interlock test procedure: TBD
AC Power input options and line frequency: 480 VAC, 3 phase, 60 Hz
Wafer type: Notch
SMIF: No
Cassette type: Entegris
Cassette model: KA202-80SH-47C02
Carousel:
(16) Cassettes
(2) Levels
Wafer counter: Present
End effector type: Optical sensor
Includes:
Post process exhaust burning unit
Heater element:
(5) Zones
Mid temp
P/N: 602783-08
Torch assy:
P/N: 172441-003
Torch spike TC:
P/N: 739655-001
Torch injector TC:
P/N: 739603-001
Thermo-couple type: R
Profile:
P/N: 910601-001
Spike:
P/N: 103365-01
Over temp:
Zones: 1-4
P/N: 103281-01
Over temp:
(5) Zones
P/N: 103365-01
Scrubbed exhaust: 4" Bottom
Cabinet (non-scrubbed) exhaust: 6", top
Door oring: Face seal / O-Ring
P/N: 105640-02 / 781053-003
TCA Controller: No
Door: Stainless steel door
P/N: 601486-02
Quartz:
Tube: Dual-wall
(1) Piece
P/N: 105678-01
Liner: No
Silicon carbide element liner: No
Quartz boat: No
Silicon carbide boat: Present
P/N: 109085-03
Pedestal assembly: Present
P/N: 108930-01
Silicon carbide baffle: Present
P/N: 109086-01
Quartz crossover: No
Quartz external Ox (Troch) chamber:
(1) Piece
P/N: 815016-665
Torch assy: External
Exhaust elbow: Present
P/N: 105936-01
TC/Seath: Integrated into quartz tube
Gas panel: Gas schematic
Gas panel:
P/N: 606820-01 Rev: 4
P/N: 606821-01 Rev: 5
MFC Type: Unit 1660 / Tylan FC 2900
N2 Dilution: 500 SLPM (Oriface)
H2 Low MFC: (1) SLPM
P/N: 910459-146
H2 High MFC: (30) SLPM
P/N: 910459-155
Purge N2 MFC: No
UHPO2 MFC: (3) SLPM
P/N: 910459-154
UHPN2 Low MFC: (2) SLPM
P/N: 908165-012
UHPN2 High MFC: 30 SLPM
P/N: 910459-009
Gas filter size / Type: Wafer guard
P/N: 907063-010, 001
Gas panel N2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 701990-003, 002
P/N: 1-909909-001
Gas panel O2 pressure gauge size / Type:
Span pressure transducer: 0 - 250 psia
P/N: 710990-002
Gas panel H2 pressure gauge size / Type: No
P/N: 701990-003
Gas panel N2 size / Type: No
P/N: 710990-002
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel O2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel H2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Gas panel N2 regulator size / Type:
Tescom: 0-60 psig
P/N: 1-908552-001
Boat area N2 purge: Flow control
Carousel area N2 purge: Flow control
Pressure settings:
UHPN2: 45 ± 10 psig / (55) SLPM
UHPO2: 45 ± 10 psig / (3) SLPM
N2 Purge: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
H2: 45 ± 10 psig / (30) SLPM
N2 Dilution: 60 +5, -0 / (500) SLPM
N2 Automation: 100 psig
2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000 ist eine Diffusionsofenanlage für eine Vielzahl von Glüh- und Diffusionsprozessen in der Fertigung, Forschung und Entwicklung und industriellen Anwendungen. Je nach Größe und Prozessart ist das System in verschiedenen Konfigurationen und Größen erhältlich. Zu den Geräteausstattungen gehören ein Lastkapazitiv von bis zu 30kg, eine Kammergröße von bis zu 38 x 66 x 23, ein Temperaturbereich von 10 bis 1000 ° C und eine hohe Temperaturgleichförmigkeit von ± 1 ° C und eine Genauigkeit von ± 1 ° C. Die Maschine umfasst auch programmierbare Temperaturregler, programmierbare Rampenraten, Sollwertregelung und Kühlfähigkeit. SVG AVP 8000 Systemfamilie umfasst auch eine Vielzahl von Zubehör, wie ein Quarzschutzrohr, ein Spin Spinner, ein Temperaturmonitor, eine Vakuumpumpe, ein Vakuummessgerät und eine Vielzahl von Sensoren, wie Pyrometer, Thermoelemente, Strahlungspyrometer und Hüllthermoelemente. Das Tool verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessplattformen, wie einzelne Wafer, mehrere Wafer, Batch und kontinuierlich. Die Anlage verfügt über ein Ultraschall-Hot-Loading-Modell, automatische Türöffnung und Schließung und Wasserstoffzufuhr Fähigkeit. Das Gerät verfügt auch über eine Sauerstoffreinigungsfähigkeit, die hilft, falsche Messwerte durch Umweltverunreinigungen zu beseitigen. Das System verfügt auch über einen eingebauten Kühlkreislauf, um Überhitzung und Schmelzen von Materialien zu verhindern. Das Gerät verfügt außerdem über eine Flusssteuerung, die es dem Bediener ermöglicht, die für den Diffusionsprozess verwendete Flussmenge einzustellen. Die Maschine kann mit einer Vielzahl von Unterstützungswerkzeugen, wie der PV-Pro-Software, fernbedient werden. Die Software bietet eine grafische Benutzeroberfläche, die es Benutzern ermöglicht, auf die Leistungs- und Statusdaten des Tools zuzugreifen sowie Prozesse zu programmieren und die Asset-Performance zu überwachen. Die Software enthält Informationen zu Alarmen und Fehlern sowie zur Datenprotokollierung, die zur Überprüfung der Prozessleistung verwendet werden können. Das Modell umfasst auch ein integriertes Datenprotokoll, das alle während des Prozesses protokollierten Daten einschließlich Materialverwendung, Temperaturprofile, Sollwerte, Parameter und Ergebnisse umfasst. Die Daten können verwendet werden, um die Prozessleistung zu überprüfen und den Prozess für die zukünftige Nutzung zu optimieren. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie den Sicherheitsanforderungen verschiedener Anwendungen wie dem Institut für Klimatisierung, Heizung und Kühlung (AHRI), dem Institut für Elektro- und Elektronikingenieure (IEEE) und der International Safety Instruments Association (SIA) entspricht. Darüber hinaus ist das System für den Fernzugriff über eine Ethernet-Verbindung ausgelegt, die die Kommunikation von Daten von der Einheit zu anderen Systemen ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Zubehör, wie Rollläden, Hitzeschilde und Schilde, die es dem Bediener ermöglichen, das Werkzeug zu schützen und einen effektiven Betrieb zu ermöglichen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor