Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9172756 zu verkaufen

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ID: 9172756
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
Vertical LPCVD furnace, 8" SELOX Process type: Selective oxidation System interface: Computer: Sun ultra 5 System software: AVP Software version 2.6.1 Printer assy: No Interlock test procedure: TBD AC Power input options and line frequency: 480 VAC, 3 phase, 60 Hz Wafer type: Notch SMIF: No Cassette type: Entegris Cassette model: KA202-80SH-47C02 Carousel: (16) Cassettes (2) Levels Wafer counter: Present End effector type: Optical sensor Includes: Post process exhaust burning unit Heater element: (5) Zones Mid temp P/N: 602783-08 Torch assy: P/N: 172441-003 Torch spike TC: P/N: 739655-001 Torch injector TC: P/N: 739603-001 Thermo-couple type: R Profile: P/N: 910601-001 Spike: P/N: 103365-01 Over temp: Zones: 1-4 P/N: 103281-01 Over temp: (5) Zones P/N: 103365-01 Scrubbed exhaust: 4" Bottom Cabinet (non-scrubbed) exhaust: 6", top Door oring: Face seal / O-Ring P/N: 105640-02 / 781053-003 TCA Controller: No Door: Stainless steel door P/N: 601486-02 Quartz: Tube: Dual-wall (1) Piece P/N: 105678-01 Liner: No Silicon carbide element liner: No Quartz boat: No Silicon carbide boat: Present P/N: 109085-03 Pedestal assembly: Present P/N: 108930-01 Silicon carbide baffle: Present P/N: 109086-01 Quartz crossover: No Quartz external Ox (Troch) chamber: (1) Piece P/N: 815016-665 Torch assy: External Exhaust elbow: Present P/N: 105936-01 TC/Seath: Integrated into quartz tube Gas panel: Gas schematic Gas panel: P/N: 606820-01 Rev: 4 P/N: 606821-01 Rev: 5 MFC Type: Unit 1660 / Tylan FC 2900 N2 Dilution: 500 SLPM (Oriface) H2 Low MFC: (1) SLPM P/N: 910459-146 H2 High MFC: (30) SLPM P/N: 910459-155 Purge N2 MFC: No UHPO2 MFC: (3) SLPM P/N: 910459-154 UHPN2 Low MFC: (2) SLPM P/N: 908165-012 UHPN2 High MFC: 30 SLPM P/N: 910459-009 Gas filter size / Type: Wafer guard P/N: 907063-010, 001 Gas panel N2 pressure gauge size / Type: Span pressure transducer: 0 - 250 psia P/N: 701990-003, 002 P/N: 1-909909-001 Gas panel O2 pressure gauge size / Type: Span pressure transducer: 0 - 250 psia P/N: 710990-002 Gas panel H2 pressure gauge size / Type: No P/N: 701990-003 Gas panel N2 size / Type: No P/N: 710990-002 Gas panel N2 regulator size / Type: Tescom: 0-60 psig P/N: 1-908552-001 Gas panel O2 regulator size / Type: Tescom: 0-60 psig P/N: 1-908552-001 Gas panel H2 regulator size / Type: Tescom: 0-60 psig P/N: 1-908552-001 Gas panel N2 regulator size / Type: Tescom: 0-60 psig P/N: 1-908552-001 Boat area N2 purge: Flow control Carousel area N2 purge: Flow control Pressure settings: UHPN2: 45 ± 10 psig / (55) SLPM UHPO2: 45 ± 10 psig / (3) SLPM N2 Purge: 45 ± 10 psig / (30) SLPM H2: 45 ± 10 psig / (30) SLPM N2 Dilution: 60 +5, -0 / (500) SLPM N2 Automation: 100 psig 2002 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000 ist eine Diffusionsofenanlage für eine Vielzahl von Glüh- und Diffusionsprozessen in der Fertigung, Forschung und Entwicklung und industriellen Anwendungen. Je nach Größe und Prozessart ist das System in verschiedenen Konfigurationen und Größen erhältlich. Zu den Geräteausstattungen gehören ein Lastkapazitiv von bis zu 30kg, eine Kammergröße von bis zu 38 x 66 x 23, ein Temperaturbereich von 10 bis 1000 ° C und eine hohe Temperaturgleichförmigkeit von ± 1 ° C und eine Genauigkeit von ± 1 ° C. Die Maschine umfasst auch programmierbare Temperaturregler, programmierbare Rampenraten, Sollwertregelung und Kühlfähigkeit. SVG AVP 8000 Systemfamilie umfasst auch eine Vielzahl von Zubehör, wie ein Quarzschutzrohr, ein Spin Spinner, ein Temperaturmonitor, eine Vakuumpumpe, ein Vakuummessgerät und eine Vielzahl von Sensoren, wie Pyrometer, Thermoelemente, Strahlungspyrometer und Hüllthermoelemente. Das Tool verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessplattformen, wie einzelne Wafer, mehrere Wafer, Batch und kontinuierlich. Die Anlage verfügt über ein Ultraschall-Hot-Loading-Modell, automatische Türöffnung und Schließung und Wasserstoffzufuhr Fähigkeit. Das Gerät verfügt auch über eine Sauerstoffreinigungsfähigkeit, die hilft, falsche Messwerte durch Umweltverunreinigungen zu beseitigen. Das System verfügt auch über einen eingebauten Kühlkreislauf, um Überhitzung und Schmelzen von Materialien zu verhindern. Das Gerät verfügt außerdem über eine Flusssteuerung, die es dem Bediener ermöglicht, die für den Diffusionsprozess verwendete Flussmenge einzustellen. Die Maschine kann mit einer Vielzahl von Unterstützungswerkzeugen, wie der PV-Pro-Software, fernbedient werden. Die Software bietet eine grafische Benutzeroberfläche, die es Benutzern ermöglicht, auf die Leistungs- und Statusdaten des Tools zuzugreifen sowie Prozesse zu programmieren und die Asset-Performance zu überwachen. Die Software enthält Informationen zu Alarmen und Fehlern sowie zur Datenprotokollierung, die zur Überprüfung der Prozessleistung verwendet werden können. Das Modell umfasst auch ein integriertes Datenprotokoll, das alle während des Prozesses protokollierten Daten einschließlich Materialverwendung, Temperaturprofile, Sollwerte, Parameter und Ergebnisse umfasst. Die Daten können verwendet werden, um die Prozessleistung zu überprüfen und den Prozess für die zukünftige Nutzung zu optimieren. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie den Sicherheitsanforderungen verschiedener Anwendungen wie dem Institut für Klimatisierung, Heizung und Kühlung (AHRI), dem Institut für Elektro- und Elektronikingenieure (IEEE) und der International Safety Instruments Association (SIA) entspricht. Darüber hinaus ist das System für den Fernzugriff über eine Ethernet-Verbindung ausgelegt, die die Kommunikation von Daten von der Einheit zu anderen Systemen ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Zubehör, wie Rollläden, Hitzeschilde und Schilde, die es dem Bediener ermöglichen, das Werkzeug zu schützen und einen effektiven Betrieb zu ermöglichen.
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