Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600529 zu verkaufen

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ID: 293600529
Weinlese: 2007
Vertical diffusion furnace 2007 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für diejenigen, die in der Halbleiterindustrie arbeiten. SVG RVP-300 Plus bietet die höchste Leistungsfähigkeit der gesamten SVG-Familie und bietet eine herausragende Plattform für innovative integrierte Schaltungsdesigns. Es bietet beispiellose Single-Shot-Gleichmäßigkeit und ist auf vollständige Flexibilität für spezifische Prozessanforderungen ausgelegt. AVIZA RVP-300PLUS bietet eine umfassende Liste konfigurierbarer Parameter einschließlich Temperaturbereichen, Gasströmungen und Verweilzeiten. Die Ofentemperatur wird aus der Umgebung auf bis zu 1000 ° C erwärmt und die maximal unterstützte Wafergröße beträgt bis zu 300 mm Durchmesser. Es kommt auch mit einer innovativen Vorwärmemöglichkeit, die die Gleichmäßigkeit über den Wafer verbessert. THERMCO RVP-300PLUS beinhaltet ein Potentiostat und eine Steuerelektronik, die bis zu 4 Ausgänge unterstützt. Die Gasquelle liefert bis zu 12 Gase aus Stickstoff, Wasserstoff, Argon und Sauerstoff. Der Ofen kann eine Reihe von Prozessgasen akzeptieren, die Niederdruckepitaxie (LOEE) und fortschrittliche optische und Passivierungsprozesse ermöglichen. AVIZA RVP-300 Plus ist ein vielseitiger Prozessdiffusionsofen, der für den Aufbau komplexer integrierter Schaltkreise optimiert ist und eine Reihe fortschrittlicher Funktionen umfasst. Es ist mit einer intelligenten Schnittstelle ausgestattet, die kritische Systeminformationen wie Temperatur und Druck anzeigt. Diese Schnittstelle ermöglicht die Automatisierung von Aufgaben wie Rezeptbearbeitung und Datenprotokollierung. Darüber hinaus bietet SVG RVP-300PLUS mit seinem innovativen und effizienten Wärmemanagementsystem eine verbesserte Verfügbarkeit. Darüber hinaus ist THERMCO RVP-300 Plus mit anspruchsvollen Sensoren und optischen Fenstern für die Betrachtung des Prozesses ausgestattet. Eine IR-Kamera und eine Sichtbrille mit Pyrolytic Graphite (PG) -Filtern stehen als Optionen zur Visualisierung des gesamten Temperaturprofils aus dem Ofen zur Verfügung. Der Ofen ist auch mit einem Gasanalysator ausgestattet, der bei der Installation in der Lage ist, Sauerstoff, Kohlenstoff und die inerten Verunreinigungen von Gasen zu bewerten. SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS ist ein vielseitiger und leistungsstarker Diffusionsofen auf dem Markt und bietet Kunden konkurrenzlose Zuverlässigkeit, Effizienz, Sicherheit und Leistung. Mit den neuesten verfügbaren Technologien bietet es die Möglichkeit, die Leistung von Halbleiterbauelementen zu verbessern und die Produktionskosten zu senken.
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