Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA RVP 9000 #293804381 zu verkaufen
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ID: 293804381
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Vertical LPCVD Furnace, 8"
Main frame
AC Transformer rack
Cable
Heater
Top core assy
Miscellaneous parts
MKS 600 Series TV Controller
MKS 628F 2 Torr C/M
Smoke detector
UPS
Cables
Gas panel (FC-7800CU):
Line / Gas / Flow rate
1 / N2 / 5 SLM
2 / He / 500 SCCM
3 / He / 500 SCCM
4 / BCL3 / He / 100 SCCM
5 / Multi / 4 -1000 SCCM
6 / GEH / 4 - 200 SCCM
7 / SiH / 4 - 200 SCCM
8 / SiH / 4 - 200 SCCM
9 / N2 / 2 SLM
10 / GEH / 4 - 200 SCCM 2 SLM
PC: EPROM
2001 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000 ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das für die präzise Dotierung und Diffusion von Verbundhalbleitermaterialien und Substraten entwickelt wurde. Es ist ein All-in-One-Tool mit vielseitigen Fähigkeiten, das das schnelle Ätzen und die präzise Dotierung unterschiedlichster Materialien ermöglicht. SVG RVP 9000 ist die neueste in unserem Sortiment von Diffusionsöfen und bietet mehrere Funktionalitäten in einer einzigen Ausrüstung, so dass es eine effiziente und kostengünstige Lösung für Verbundhalbleiterscheiben. AVIZA RVP 9000 Diffusionsofen wurde entwickelt, um hohe Qualität Leistung und maximale Flexibilität zu bieten. Sein Kernmerkmal ist ein feldreversibles Graphitheizelement, das eine hohe Präzision, schnelle und genaue Dotierung bietet. Das integrierte Gassteuermodul ermöglicht eine hochpräzise Gasströmungsregelung und ermöglicht eine hochpräzise Dotierung von Substraten mit einer Vielzahl von Dotierstoffstufen. Darüber hinaus verfügt RVP 9000 über eine einstellbare Temperaturregelung, die eine präzise und genaue Steuerung des Temperaturprofils ermöglicht. Der Diffusionsofen weist außerdem eine Quarzrohrkonstruktion auf, die einen gleichmäßigen und gleichmäßigen Gasfluss während des Diffusionsprozesses gewährleistet. THERMCO RVP 9000 kommt auch mit zusätzlichem Zubehör, umfassen volle Fernbedienungsfunktionen, sowie in der Prozessüberwachung über ein Vollfarben-LCD-Touchscreen-Display. Das optionale EPCP-System bietet eine robustere Steuerungsarchitektur und ermöglicht eine präzise Dotierungssteuerung und präzise Manipulation von Prozessparametern. Zusätzlich kann SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000 mit einer Gasfördereinheit zur präzisen Gasflussregelung und einer Gasmanagementmaschine zur optimierten Gasströmung gekoppelt werden. SVG RVP 9000 ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, ideal für eine Vielzahl von Prozessen, wenn präzise Ergüsse und Dotierungen benötigt werden. Dieser Diffusionsofen kann eine breite Palette von Materialien handhaben und liefert genaue und gleichmäßige Ergebnisse. Das integrierte Steuerungstool ist robust und benutzerfreundlich, sodass Anwender den Prozess genau steuern und Prozessparameter verwalten können. Zusätzlich kann mit Hilfe des optionalen Zubehörs AVIZA RVP 9000 effizienter für verbesserte Erträge genutzt werden.
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