Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000 #293747284 zu verkaufen

SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000
ID: 293747284
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2003
Diffusion furnace, 6" Laminar flow hood Compumotor robot ACE Panel Dual boat elevator Anti-static bar Element lift Torch controller CRT PCE Controller Boat type: Quartz, 6" and pedestal, 8" VCR Gasline interconnect SCHUMACHER Trans LC bubblier MFC: (2) N2 (30 SLM / 3 SLM) (2) O2 (20 SLM / 2 SLM) H2 (10 SLM) Wafer storage: Dual boat (8) Carriers 2003 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000 ist eine hochmoderne Diffusionsofenanlage zur präzisen und gleichmäßigen Dotierung von Halbleitermaterialien mit Verunreinigungen zur Änderung ihrer elektrischen Eigenschaften. Dieser fortschrittliche Ofen ist mit einer breiten Palette von Funktionen und Zubehör ausgestattet, die ihn zu einer idealen Lösung für Serienumgebungen in der Halbleiterindustrie machen. Im Kern der SVG SVG 7000 befindet sich eine Hochtemperatur-Prozesskammer, die Temperaturen bis zu 1200 Grad Celsius erreichen kann. Dies ermöglicht die effiziente Diffusion von Dotierstoffatomen in das Halbleitersubstrat, wodurch ein kontrollierter und reproduzierbarer Dotierungsprozess gewährleistet ist. Die Kammer besteht aus einem hochwertigen Quarzmaterial, das eine ausgezeichnete thermische Stabilität und Beständigkeit gegen raue Prozessbedingungen bietet. AVIZA SVG 7000 ist mit einem ausgeklügelten Gasfördersystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Dotierungsatmosphäre innerhalb der Prozesskammer ermöglicht. Verschiedene Dotierstoffgase wie Arsen, Phosphor und Bor können in bestimmten Strömungsgeschwindigkeiten und Konzentrationen in den Ofen eingebracht werden, um das gewünschte Dotierungsprofil im Halbleitermaterial zu erreichen. Diese präzise Steuerung des Gasstroms gewährleistet eine gleichmäßige Dotierung über die gesamte Substratoberfläche, was zu konsistenten elektrischen Eigenschaften führt. Um die Leistung von SVG 7000 weiter zu verbessern, ist das Gerät mit fortschrittlichen Temperaturregelmechanismen ausgestattet, die eine präzise Einstellung des Ofentemperaturprofils während des Dotierungsprozesses ermöglichen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Halbleitermaterial den optimalen thermischen Bedingungen für eine effiziente Dotierungsdiffusion ausgesetzt ist, was zu hoch vorhersagbaren und zuverlässigen Dotierungsergebnissen führt. Neben den Kernfunktionalitäten verfügt THERMCO SVG 7000 über eine Reihe von Zubehör und optionalen Funktionen, die spezifischen Prozessanforderungen gerecht werden. Dieses Zubehör umfasst Wafer Handling Roboter zum automatisierten Be- und Entladen von Substraten sowie fortschrittliche Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme zur Datenerfassung und -analyse in Echtzeit. Die Maschine kann auch mit externer Software und Steuerschnittstellen zur nahtlosen Integration in bestehende Produktionslinien integriert werden. SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000 ist mit Blick auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit robuster Konstruktion und hochwertigen Komponenten, die langfristige Leistung und Betriebszeit gewährleisten. Das Tool ist einfach zu bedienen und zu warten, mit benutzerfreundlichen Schnittstellen und Diagnosetools, die Fehlerbehebungs- und Wartungsaufgaben vereinfachen. Insgesamt ist der SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA 7000 Verbreitungsbrennofenvermögenswert eine innovative Lösung für Hodurchflusshalbleiterdotierungsanwendungen. Die fortschrittlichen Funktionen, die präzisen Steuerungsfunktionen und die Vielseitigkeit machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller, die konsistente und reproduzierbare Dopingergebnisse in einer Produktionsumgebung erzielen möchten.
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