Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631 zu verkaufen

SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604
ID: 293655631
LPCVD Furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604 ist ein vielseitiger und leistungsstarker Diffusionsofen und Zubehör, der eine vollständige Palette von Diffusionsverbindungs- und Waferherstellungsprozessen bietet. Es ist in der Lage, stark belastete Prozesse sowie ultraschnelle thermische Glühprozesse durchzuführen. SVG TMX 2604 kann Substratgrößen bis 300 Millimeter aufnehmen und ist somit für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. AVIZA TMX 2604 verfügt über eine integrierte Prozesssteuerung mit erweiterten Programmierfunktionen. Der Anwender kann problemlos Prozessrezepte erstellen, die dem thermischen Prozess entsprechen und eine präzise und effiziente Bedienung ermöglichen. THERMCO TMX 2604 ist mit mehreren Prozessparametern wie Druck, Temperatur, Vakuum und Atmosphäre ausgestattet, die alle während des Prozesses leicht überwacht werden können. Darüber hinaus ist der Ofen mit einer kompakten Stellfläche ausgelegt und enthält optionale Merkmale wie ein begrenztes Begasungsrohr, ein geschlossenes Kühlsystem und optische Emissionssysteme. TMX 2604 verwendet eine Diffusionsheizeinheit mit einem Graphitfilament, um Temperaturen von bis zu 1200 ° C zu erreichen. Dadurch eignet es sich für eine Vielzahl von thermischen Prozessen im Bereich von 450 bis 1200 ° C, wie Diffusionsbindung, Waferbindung, Oxidation, Glühen und Sintern. Es ist auch mit einer integrierten gepumpten Konvektionsmaschine ausgestattet, die zu einheitlichen Prozessen beiträgt. Der Ofen ist mit automatisierten Sicherheitsmerkmalen wie einem E-Stop-Notschalter, einem akustischen Notalarm und einer Notabschaltfunktion ausgestattet. Es enthält auch mehrere intelligente Sensoren und mehrere Sicherheitsverriegelungen; ein Auspuffentleerungswerkzeug; und ein Auto-Temperatur-Grenzmerkmal, das den Heizvorgang bei vorbestimmten Temperaturen automatisch stoppt. Zusätzlich ist SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604 mit einer Vielzahl von Zubehör entworfen, um Benutzerfreundlichkeit zu gewährleisten. Dazu gehören ein Heizkammerwagen; einen Kühlkammerwagen; einen Robotersubstrat-Übertragungsarm; einen Robotertransferarm; einen Prozesskammeradapter; eine Rolle oder einen Manipulatorarm; und eine Druckkontrolleinrichtung. Der Ofen verfügt auch über leicht zu wartende Teile wie einen Graphitofen und Vakuumkammerdichtungen, und die Komponenten sind für Langlebigkeit und geringe Wartung ausgelegt. SVG TMX 2604 bietet einen leistungsstarken und vielseitigen Diffusionsofen mit einer breiten Palette von Ofenzubehör für verschiedene Anwendungen. Es bietet ein robustes Prozesssteuerungsmodell, eine effiziente Heizausrüstung und mehrere Sicherheitsmerkmale, um einen qualitativ hochwertigen und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten. Darüber hinaus ist AVIZA TMX 2604 mit einer Vielzahl von bequemen Zubehörteilen und Komponenten konzipiert, was es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Fertigungsprozessen macht.
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