Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26403 zu verkaufen
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ID: 26403
Wafergröße: 6" 8"
Vertical Furnace, TEOS, 6", can be configured to 8" capability
Gas system is configurable
as is
early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket für eine Vielzahl von Hochtemperaturanwendungen wie Sublimation, Abscheidung, Oxidation, Diffusion und Glühen. Das Paket umfasst einen mehrzonigen Quarzrohrofen mit der Fähigkeit, bei Temperaturen bis 1750 ° C und Drücken bis 100 mbar zu arbeiten, sowie zusätzliches Zubehör zur Steuerung der Umgebung innerhalb der Hochtemperaturkammer. SVG VTR 6000 Diffusionsofen verwendet eine Mehrzonen-, Quarzrohr-Ofenkammer und Sicherheitssysteme. Das Innere der Ofenkammer ist aus Aluminiumoxid und Quarzschmelzrohr gebaut, um eine einheitliche thermische Leistung zu bieten, während die mitgelieferten Sicherheitssysteme Sicherheit und maximale Energieeffizienz beim Betrieb des Ofens gewährleisten. Dazu gehören ein Überdruckventil und ein Schalter zum Abschalten der Stromversorgung im Fehlerfall. Das System ist auch mit einem Temperaturprofilprogramm ausgestattet, mit dem Benutzer voreingestellte Heizparameter wie Temperatur, Rampenrate und Haltezeit des Prozesses programmieren können. So können Anwender anspruchsvolle und wiederholbare thermische Prozesse durchführen. Neben dem Diffusionsofen umfasst AVIZA VTR 6000 Diffusionsofen und Zubehörpaket eine Reihe zusätzlicher Zubehörteile wie Gas- und Gasdurchflussmesser, Gasdruckregler, Widerstandsthermometer, Relais und Sensoren, große Saugköpfe, Faltenbälge zur flexiblen Druckreduzierung, schnelle Heizelemente, Rs-232-Anschlüsse für Fernkommuns. Das mitgelieferte Zubehör kann auf die individuellen Bedürfnisse des Anwenders zugeschnitten werden und sorgt für mehr Genauigkeit und Effizienz. VTR 6000 Diffusionsofen und Zubehörpaket wurde entwickelt, um industriellen Anwendern eine Reihe von Funktionen zur Verfügung zu stellen, so dass sie eine Vielzahl von Sublimations-, Abscheide-, Oxidations-, Diffusions- und Glühprozessen durchführen können. Die Kombination aus Funktionen und Zubehör bietet Optimierung von Prozessparametern und wiederholbaren Ergebnissen, während seine Sicherheitsmerkmale die Sicherheit der Benutzer und maximale Energieeffizienz gewährleisten.
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