Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404 zu verkaufen
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ID: 26404
Wafergröße: 6" 8"
Vertical Furnaces, 6", can be configured to 8" capability
POCL3, Atmosphere, O2, N2, Phosphorous Oxychloride
as-is
early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 ist ein Mittelstreuofen und Zubehörpaket für Präzisionstemperaturregelung und Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dieser Diffusionsofen hat eine maximale Temperaturstärke von bis zu 1500 ° C und eignet sich somit für eine Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, Siliziumnitrid und Aluminiumnitrid. SVG VTR 6000 ist mit präzisen Computersteuerungs- und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die ein präzises Temperatur- und Prozessmanagement ermöglichen. Darüber hinaus enthält das Paket eine Turbopumpe und einen Warm-/Kaltluftstromauslass für zusätzliche Benutzeranpassungen. AVIZA VTR 6000 Diffusionsofen ist aus hochwertiger Keramikfaser-Isolierung und speziellen Legierungen hergestellt, die Beständigkeit gegen Temperaturextreme und Langlebigkeit in Hochleistungsanwendungen gewährleisten. Seine internen Kammermessungen umfassen einen 9,5-Zoll-Durchmesser und 12-Zoll hoch, entworfen, um größere Kapazitäten aufzunehmen. Das Einzonen-Design verfügt über vertikale Konvektionswärme, mit unabhängiger Einstellung und einem einstellbaren Hochtemperaturventilator, um die Wärme auf engstem Raum zu lenken. Das Hochtemperaturheizelement befindet sich außerhalb der Hochtemperaturkammer, um eine schnellere Abkühlung und Temperaturstabilisierung zu ermöglichen. Das Paket enthält auch einen intuitiven computerbasierten Controller, mit dem Benutzer programmierbare Temperaturprofile konfigurieren und feinabstimmen können. Es dient als Schnittstelle zur Kommunikation, bietet genaue Temperatur- und Prozessdaten, aktualisierbare Rezepte und Echtzeit-Sollwertanpassung. Die Temperaturprofilregelung PID (proportional, integral und differential) sorgt für eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit in Bezug auf einen bestimmten Sollwert. VTR 6000 verfügt über integrierte Sicherheitsfunktionen zum Schutz des Personals, wie Überhitzungsschutz und Kühlventilator. Es umfasst mehrere Steuer- und Überwachungsstufen, um sicherzustellen, dass die Temperaturmesswerte des Ofens in den festgelegten Grenzen bleiben, und die Druckturbopumpe ist mit einem Luftfilter ausgestattet, um einen sauberen Betrieb zu gewährleisten. Das thermisch effiziente Design von THERMCO VTR 6000 ermöglicht schnelleres Aufwärmen und Abkühlen. Diese minimierte thermische Drift sorgt für mehr Genauigkeit und verbesserte Prozessstabilität. Zusätzliches Zubehör wie Drahtanleger und Keramikbäder sind separat erhältlich. Dieses Diffusionsofen und Zubehörpaket ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für sein vielseitiges Spektrum an Verarbeitungsanwendungen, einschließlich Diffusion, Oxidation und Glühen. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 kann in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden, darunter Labore, Halbleiter und optoelektronische Fertigung.
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