Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262 zu verkaufen

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 ist ein Diffusionsofen für die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) von Halbleiterbauelementen. Dieser hocheffiziente und zuverlässige Ofen zeichnet sich durch überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität aus und ist somit ideal für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen. SVG VTR 6000 besteht aus einer vakuumdichten Edelstahl-Bearbeitungskammer, einem Prozessgaskrümmer und einer rückseitigen Kühlplattenanordnung. Die Kammer ist mit einem bodenbelasteten Extruder ausgestattet. Der Extruder, ein einzigartiges Merkmal dieses Ofens, ermöglicht eine breite Palette von Prozesskonfigurationen und Effizienz. Die Gasförderausrüstung des AVIZA VTR 6000 umfasst einen Gaskasten, einen Wanddruckregler und ein Proportionalventil, das präzise gesteuerte Prozessgase in vollem Umfang bereitstellt, die dem Substrat zugeführt werden können. Zusätzlich ist der Ofen mit einem elektronischen Temperaturregler ausgestattet, der schnelle Heiz- und Kühlzyklen ermöglicht und schnelle Programmierung und Rezepturwechsel ohne Prozessunterbrechung ermöglicht. Der Controller verfügt zudem über eine einfache grafische Benutzeroberfläche. Die rückseitige Kühlplattenbaugruppe des VTR 6000 verteilt die Leistung entlang drei Kanälen für vertikale und horizontale Temperaturgleichförmigkeit über das Substrat. Die Kühlplatte erhöht die Gleichmäßigkeit und Genauigkeit der Temperaturregelung weiter und eliminiert Temperaturüber- oder Unterschießen. THERMCO VTR 6000 enthält erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein automatisches Abschaltsystem zum Schutz vor übermäßigen Prozesstemperaturen. Dieses Merkmal ist besonders wichtig, da es eine Überhitzung des Substrats und einen katastrophalen Substratausfall verhindert und somit eine sichere und produktive Arbeitsumgebung gewährleistet. Darüber hinaus verfügt SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 über eine Luftfiltrationseinheit, um eine saubere Luftzirkulation im Ofen zu gewährleisten und das Risiko einer Kontamination zu minimieren. Zusammenfassend ist SVG VTR 6000 ein äußerst zuverlässiger Diffusionsofen für schnelle thermische Verarbeitungsanwendungen. Es verfügt über eine effiziente Gasliefermaschine, einen elektronischen Temperaturregler mit benutzerfreundlicher GUI, eine rückseitige Kühlplattenbaugruppe für verbesserte Temperaturgleichförmigkeit sowie erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein automatisches Abschaltwerkzeug und Luftfiltermittel. Mit seiner hervorragenden Leistung, Zuverlässigkeit und Sicherheit ist AVIZA VTR 6000 die ideale Wahl für Halbleiterverarbeitungsanwendungen.