Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597263 zu verkaufen

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 ist ein Diffusionsofen, der in der Halbleiterindustrie verwendet wird und die Fähigkeiten eines Standard-Diffusionsofens mit fortschrittlichen Automatisierungs- und Anpassungsoptionen kombiniert. Dieser Ofen kann bis zu 25 Watt Leistung, bis zu 3600 Watt Wärme und Temperaturen bis zu 1150 ° C liefern. Der fortschrittliche Controller enthält 16 erweiterte Diffusions- und Implantationsprogramme, mit denen Benutzer ihre Prozesse anpassen können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Die Kammer ist außerdem mit einer automatisierten Glykolkühlung ausgestattet, die bei jedem Verfahrensschritt eine gleichmäßige Kühlung gewährleistet. Die Kammer besteht aus zwei Abschnitten: dem Boden und dem Stapel, was eine präzisere Steuerung ermöglicht. Die Basis wird elektronisch angetrieben und zeigt Echtzeit-Temperatur- und Druckmesswerte sowie ein digitales Auslesen der Temperatur- und Druckeinstellungen an. Die Kammer verfügt außerdem über einen Quarz-Viewport zur Innenraumbeobachtung sowie einen 0-5 Volt Ausgang zur Verbindung mit einem programmierbaren Logikcontroller (SPS). SVG VTR 6000 ist mit einer Diffusionspumpe ausgestattet, die sowohl einen Prallwerfer als auch einen Kondensator enthält und eine präzise Regelung des Kammerdrucks ermöglicht. Diese fortschrittliche Pumpe wurde entwickelt, um Umgebungsgeräusche und Vibrationen für eine präzisere Konzentration von Materialien und schnellere Zykluszeiten zu reduzieren. Die Pumpe ist auch programmierbar, so dass Benutzer die Geschwindigkeit anpassen können, mit der sich Materialien durch die Kammer bewegen, um ihre gewünschten Diffusionswerte zu erreichen. Der Ofen umfasst auch eine automatisierte zentrale Prozesssteuerung, die eine Reihe von Timern und Alarmen umfasst, die Temperaturen, Kammerdrücke und Prozessschritte überwachen. Diese Einheit soll sicherstellen, dass Rezepte genau befolgt werden und die Prozesse innerhalb der angegebenen Zeiten abgeschlossen werden. Die Maschine arbeitet auch, um Prozessbedingungen zu verhindern, die zu Beschädigungen der Kammer oder ihrer Komponenten führen können. Darüber hinaus trägt das zentrale Prozesssteuerungswerkzeug durch die Überwachung des Sauerstoffgehalts der Kammer zur Erhöhung der Sicherheit bei. Neben seinen beeindruckenden Features bietet AVIZA VTR 6000 zahlreiche Zubehörteile für mehr Produktivität und Komfort. Dazu gehören ein Carrier Wafer Transfer Asset, das automatisierte und manuelle Wafer Handling unterstützt, sowie eine radiale Ofennabe und Pinning Set für Be- und Entladeanwendungen. Das Modell verfügt auch über eine Vielzahl von hochwertigen Quarz-Zubehör, einschließlich Vorhänge, Grading Eimer, Kollimatoren und spezielle Quarz-Liner. Schließlich bietet VTR 6000 einen zusätzlichen Satz von Graphit- und RP-CVD-Teilen für Beschichtungsanwendungen. Insgesamt ist THERMCO VTR 6000 ein leistungsstarker, zuverlässiger und vielseitiger Diffusionsofen, der enorme Möglichkeiten zur Anpassung und Produktivitätssteigerung bietet. Durch die Kombination eines Standard-Diffusionsofens mit erweiterten Automatisierungsoptionen können Anwender die gewünschten Ergebnisse erzielen und gleichzeitig sicher und effizient bleiben.