Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9168600
Wafergröße: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: SiN
Chamber
Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Cooling trap
Gas manifold box
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 ist ein fortschrittliches Diffusionsofen und Zubehörpaket, das anspruchsvolle Anforderungen erfüllt. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 6000 Wafer pro Stunde mit Einzel-Wafer- oder Chargenverarbeitungstechnologie durchzuführen, was einen höheren Durchsatz bei geringeren Kosten ermöglicht. Das System bietet eine beeindruckende Auswahl an Funktionen und Funktionen. SVG VTR 6000 verfügt über ein innovatives Loaded Wafer Stacking Karussell, das mit bis zu drei Wafern pro Runde geladen werden kann, wodurch die Durchsatzkapazität deutlich erhöht wird. Seine chemischen Stationen sind für schnelle und genaue chemische Einspritzungen ausgelegt, während der präzise Wafer-Platzierungsmechanismus eine genaue Ausrichtung der Wafer gewährleistet. Die Präzisionstemperaturregelung in der gesamten Kammer ist besonders vorteilhaft für gleichmäßige nichtoxidierende Atmosphären während Diffusionsvorgängen. AVIZA VTR 6000 ist für einfache Bedienung und erhöhte Sicherheit mit erweiterten Funktionen zur Fehlerüberwachung und -diagnose ausgestattet. Die vollfarbige grafische LCD-Touchscreen-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Bedienung und zeigt Prozessparameter in Echtzeit an, während Überwachungssysteme und optionale Drucksensoren eine umfassende Prozesssteuerung bieten. Das Gerät bietet zudem zuverlässige Überwachungs- und Diagnosefunktionen mit einem optionalen optischen Emissionsspektrometer (OES) zur Erkennung schädlicher Verunreinigungen in der Kammer. Darüber hinaus hilft der integrierte Electric Substrate Analyzer (ESA), den Fortschritt von Diffusionsprozessen zu überwachen. Um die Benutzerfreundlichkeit zu maximieren, ist der THERMCO VTR 6000 so konzipiert, dass er in Robotersysteme und Waferlast-Lock-Systeme integriert wird. Es verfügt auch über ein intuitives Softwareprogramm, das Benutzern hilft, ihre Rezepte schnell zu konfigurieren. Darüber hinaus ist das Tool in der Lage, bis zu 10.000 Rezepte für den einfachen Abruf zu speichern. Um die Betriebszeit zu maximieren, verfügt die Anlage außerdem über ein kabelfreies Verbindungsmodell, das den Zeitaufwand für Wartung und Reparaturen reduziert. Insgesamt bieten Diffusionsofen und Zubehör VTR 6000 eine kostengünstige und zuverlässige Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Das fortschrittliche Gerätedesign, umfassende Systemüberwachungs- und Diagnosefunktionen, intuitives Softwareprogramm und kabelfreie Wartungseinheit sorgen für zuverlässige, kostengünstige Leistung und überlegene Benutzerfreundlichkeit.
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