Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396 zu verkaufen

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26396
Vertical Furnaces, Nitride, 6", can be configured to 8" capability Gas system can be configured As is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und ist für den Einsatz in Forschungs- und Entwicklungslaboren in der Halbleiterindustrie konzipiert. SVG VTR 7000 wurde entwickelt, um zuverlässige, präzise thermische Prozesse bereitzustellen und verfügt über niederprofilige Tauchheizungen, um saubere Wärme in der gesamten Prozesskammer zu liefern. AVIZA VTR 7000 verfügt zudem über eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit bei gleichmäßiger Wärmesteuerung, die wesentlich besser ist als herkömmliche Diffusionsöfen. THERMCO VTR 7000 kann auch bei Temperaturen bis 3500 ° C arbeiten und zum Abscheiden und Ätzen von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Aluminium verwendet werden. Um eine einheitliche thermische Kontrolle zu gewährleisten, verfügt der VTR 7000 über niederprofilige Tauchheizungen, die in der Prozesskammer enthalten sind. Die Heizgeräte verwenden fortschrittliche Heizmaterialien und können je nach Konfiguration Temperaturen zwischen 50 ° C und 1500 ° C erreichen. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 verfügt auch über eine Vielzahl weiterer fortschrittlicher Heizkomponenten, darunter ein Keramikoberteil zur einheitlichen thermischen Kontrolle, eine keramikverstärkte Spule zur Wärmeabgabe und einen elektrischen Boost-Heizer. Dies bietet eine hervorragende Wärmegleichförmigkeit und eine präzise thermische Steuerung über die gesamte Prozesskammer. Neben der präzisen thermischen Steuerung bietet SVG VTR 7000 auch leistungsstarke Vakuumfunktionen. Das Gerät kann Vakuumniveaus bis zu 8 x 10-6 Torr erreichen und arbeitet bei Kammerdrücken von bis zu 10-4 Torr, um eine ausreichende Betriebstemperatur zu erreichen. Mit der Fähigkeit, Temperaturbereiche bis 3500 ° C zu erreichen, ist AVIZA VTR 7000 in der Lage, eine Vielzahl von Diffusionsprozessen durchzuführen, einschließlich Rapid Thermal Processing (RTP). THERMCO VTR 7000 verfügt auch über fortschrittliche Sicherheitsmechanismen, um die Sicherheit des Benutzers während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Dies beinhaltet die automatische Geräteabschaltfunktion bei Überschreitungen anormaler Temperaturen, anormalen Leistungsstufen und anderen Sicherheitsbedingungen. Das System verfügt auch über eine erweiterte Diagnose, die es ermöglicht, den Status der Einheit zu überwachen und Fehler zu identifizieren, um weitere Schäden in der Prozesskammer zu verhindern. Neben der zuverlässigen und präzisen thermischen Steuerung ist der VTR 7000 auch für Hochleistungskühlfunktionen ausgelegt. Dies wird durch eine zweistufige Kühlmaschine ermöglicht, die gleichzeitig eine hohe Geschwindigkeit und Niederdruck-Kühlmittelströmung zur Kühlung der Außenseite der Kammer und der Innenseite der Kammer bereitstellt. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine Schnellwärmeübertragungsdecke zum schnellen Ausgleich der Kammertemperatur und eine kryogene Zuleitung für eine optimale Kühlmittelzirkulation. Insgesamt ist SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ein leistungsstarker Diffusionsofen, der auf Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Der SVG VTR 7000 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Komponenten und Sicherheitsmechanismen ausgestattet und kann bei extremen Temperaturen für verschiedene Diffusionsprozesse arbeiten. AVIZA VTR 7000 ist eine ausgezeichnete Wahl für Forschungs- und Entwicklungslabore in der Halbleiterindustrie mit einem Low-Profile-Tauchheizgerät, einer Temperaturregelung mit Gleichmäßigkeit und Hochleistungsvakuumfähigkeit.
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