Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 26401
Wafergröße: 6" 8"
Vertical Furnace, Poly, 6", can be configured to 8" capability
Gas system can be configured.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das speziell für die Hochtemperaturverarbeitung von Halbleitern über einen weiten Temperaturbereich entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche, mikrocontrollerbasierte Steuerung mit mehreren programmierbaren Sollwerten, Rampenraten und Ofenparametern, die präzise thermische Prozesse auch in hochdynamischen Umgebungen gewährleisten. SVG VTR 7000 unterstützt eine breite Palette von Prozessen, einschließlich Diffusion, Oxidation, Nitridation, Glühen, Ionenimplantation und Sputterabscheidung. AVIZA VTR 7000 verfügt über einen robusten Edelstahlschrank, der mit einer wärmeisolierten Tür versehen ist. Ein Kammerheizer mit einer maximalen Temperatur von 1150 ° C ist in das Gerät integriert, zusammen mit einer horizontalen stabförmigen Kaltwand-Design, bietet eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit über die gesamte Vakuumkammer. Das System wurde entwickelt, um die Wärmeübertragungseffizienz zu optimieren, indem eine überlegene Kammerisolierung und erweiterte Temperaturprofilsteuerungen integriert werden. Der Ofen unterstützt Wafergrößen bis 200 mm und verwendet einen effektiven, geschlossenen PID-Steueralgorithmus für eine gute Prozesskontrolle und Stabilität. Sein erweitertes Steuermodul bietet mehrere PID- und Ein-/Aus-Heizungssteuerung, ein Up/Down-Treppensteuerungsprogramm und ein Backfill-Programm, das hilft, den Ofen auf einer konstanten Temperatur zu halten. Zur Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Temperaturverteilung in der Kammer weist der Ofen eine 2-Moden-Lüftereinheit auf. Die Abgasmaschine der VTR 7000 verfügt über einen hocheffizienten Filter und Wäscher. THERMCO VTR 7000 ist auch mit einem Pyrometer und mehreren Temperatursensoren ausgestattet, die Temperaturen im Ofen genau messen, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Schutzplatte ausgelegt, um die Auswirkungen eines beliebigen Wärmedurchbruchs zu minimieren. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 sorgt mit seinem integrierten Leistungsmonitor für Sicherheit und Zuverlässigkeit seiner Betreiber. SVG VTR 7000 kann mit einer Vielzahl von zusätzlichem Zubehör kombiniert werden, das die Performance der Anlage verbessert. Dazu gehören Eloxierung, Kühlsysteme, spezialisierte Steuerungssysteme, Prozesskammern und viele andere Optionen. Dieses Zubehör ermöglicht eine maßgeschneiderte Lösung, die alle spezifischen Prozessanforderungen erfüllt. Insgesamt ist der SVAVIZA VTR 7000 ein automatisiertes Hochtemperatur-, Diffusions- und Zubehörmodell, das eine gleichmäßige und präzise Diffusionsbearbeitung über einen weiten Temperaturbereich ermöglicht. Es verfügt über robuste Hardware, erweiterte Temperaturkontrolle und Überwachungsfunktionen sowie eine breite Palette von Zubehör, was es zu einer guten Wahl für die Halbleiterherstellung macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor