Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26405 zu verkaufen
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ID: 26405
Wafergröße: 8"
Vertical Furnaces, Nitride, 8" w/ Carousel and Asyst, as-is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die fortgeschrittene Abscheidung von reaktiven und nicht-reaktiven Materialien. Es ist ein komplettes thermisches Verarbeitungssystem mit präziser thermischer Steuerung, präziser Temperaturgleichförmigkeit und schnellen Zykluszeiten. SVG VTR 7000 ist ein Hightech-Diffusionsofen, der eine überlegene Diffusionsleistung und verbesserte atmosphärische Steuerungsfunktionen bietet. AVIZA VTR 7000 verfügt über einen 3,7 kW rohrförmigen gasbefeuerten IR-Heizkörper und sechs kurze, spulenspulenförmige IR-Heizkörper, die zwischen zwei 4,1 "dicken Keramikfaser-isolierten Wärmewänden montiert sind, die Temperaturspreizungen innerhalb von 1 ° F steuern können. Darüber hinaus verfügt VTR 7000 über einen fortschrittlichen PID/Fuzzy-Logik-Controller, der präzise Temperatureinstellungen, schnelle Reaktionszeiten und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. THERMCO VTR 7000 enthält auch eine wassergekühlte Diffusionskammer mit Druckabgriffventilen zur Überwachung des Vakuumspiegels. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 enthält auch mehrere Zubehörteile, um die Benutzerfreundlichkeit zu erleichtern und spezielle Prozesse wie die Nasschemie zu ermöglichen. Das Zubehör umfasst ein verjüngtes Vakuumschloss für schnelle Waferbelastung, Diodenkontaktheizungen, Vakuumdichtungen, Druckregelventile und eine automatisierte Materialhandhabungseinheit zur zuverlässigen Abscheidung von empfindlichen Materialien. SVG VTR 7000 ist eine fortschrittliche thermische Prozessmaschine, die entwickelt wurde, um überlegene Qualität und Leistung zu bieten. Das Werkzeug ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter die Herstellung von Halbleiter-, photoelektronischen und optoelektronischen Bauelementen sowie die Herstellung von Keramiken und Gläsern. AVIZA VTR 7000 eignet sich auch für eine Reihe von kundenspezifischen Anwendungen wie thermische und mechanische Belastungskontrolle, chemische Dampfabscheidung (CVD) von funktionalen Folien und andere komplexe Forschung und Entwicklung. VTR 7000 ist in der Lage, Diffusionsprozesse bei Temperaturen bis 2800 ° C mit schnellen Temperaturrampenraten und kurzen Taktzeiten durchzuführen. Es bietet auch eine breite Palette von Schutzfunktionen, um die Sicherheit zu gewährleisten und die Möglichkeit eines Unfalls zu minimieren. Die mitgelieferten Sicherheitsfunktionen umfassen Überstrom- und Übertemperaturschutz, thermische Kupplungsabschaltung, Notwärmeabschaltung und eine visuelle Alarmanlage, um Sie auf Störungen aufmerksam zu machen. THERMCO VTR 7000 ist zudem benutzerfreundlich und verfügt über eine breite Palette von Softwarefunktionen und Programmen zur Optimierung des Produktionsprozesses. Das Spektrum der Softwarefunktionen umfasst ein automatisiertes Front-End-Programmiermodell, Echtzeit-Überwachung, Zyklusabfolge, mehrere Produktrezepte und eine Reihe von voreingestellten Befehlen. Alle diese Merkmale machen SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 zu einer hocheffizienten und benutzerfreundlichen thermischen Prozessausrüstung.
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