Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811745 zu verkaufen

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 293811745
Wafergröße: 8"
Low‑Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) vertical furnace, 8" Dual cassette tree Processes: Poly, Nitride, and combination.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket für eine Vielzahl von Anwendungen. SVG VTR 7000 verfügt über ein kaltes Wanddesign, eine hohe Belastbarkeit und ist für Temperaturen von 800 ° C bis 1300 ° C geeignet. Die effiziente, einfach zu bedienende Schnittstelle und der automatisierte Prozess machen dieses Gerät zu einer guten Wahl für Anwendungen wie Dotierungsdiffusion, dielektrische Abscheidung mit niedrigen k und Überbrückung. AVIZA VTR 7000 ist mit einer Hochvakuum-Konvektionspumpkammer ausgestattet, die eine hervorragende Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit bietet. Mit Hilfe der Gasleitungen können Diffusionsvorläufer und Dotierstoffe in die Kammer eingespritzt und Prozessgase auf einen vorgegebenen Druck abgebrannt werden. Mit seinen fortschrittlichen Temperatur- und Druckregelungen ermöglicht THERMCO VTR 7000 schnelles Hochfahren und Abkühlen während des Dotierungsprozesses. Ein Hochleistungs-, Doppelstufensiegel-Mechanismus erlaubt repeatable, effiziente Be-und Entladung von Oblaten und Bestandteilen. VTR 7000 verfügt auch über eine vollständige Palette von Zubehör, einschließlich einer flexiblen Hitzeschild, Dual-Thermoelement für Temperaturregelung und -regelung, Dotierstoffversorgungsanschlüsse, Lastschlosssysteme, Lastportstation, Inertgaseinspritzsystem und Vakuummessgeräte. Ein Nachablagerungsofen ist ebenfalls enthalten, sowie eine Vielzahl von Temperaturvoreinstellungen und Graphit-Suszeptoren. Alle diese Merkmale arbeiten zusammen, um zuverlässige und wiederholbare Dotierungsverfahren zu schaffen, die für verschiedene Anwendungen geeignet sind. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist eine große Auswahl an Diffusionsofen und Zubehör für eine Vielzahl von Elektronik- und Halbleiteranwendungen. Es liefert zuverlässige, genaue und wiederholbare Ergebnisse dank der dynamischen Temperatur- und Druckregelung und der effizienten Atmosphärensteuerung. Die umfangreiche Palette an Zubehör ermöglicht es dem Benutzer, die Maschine auf spezifische Bedürfnisse abzustimmen und Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Sie können sich darauf verlassen, dass SVG VTR 7000 entwickelt wurde, um zuverlässige Leistung zu bieten, ohne auf Sicherheit oder Genauigkeit zu verzichten.
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