Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9168601
Wafergröße: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: Poly
(1) Chamber
(1) Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Gas manifold box
TEOS Transfill
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein Einkammer-Horizontaldiffusionsofen für den Anbau von Dünnschichtmaterialien. Dieser Diffusionsofen hat eine maximale Temperatur von 2500 Grad Celsius und verfügt über eine Rapid Thermal Processing (RTP) -Fähigkeit für schnelle Heiz- und Kühlzyklen. SVG VTR 7000 ist ideal für Anwendungen, die ein gleichmäßiges schnelles Heizen (URH) und schnelles Temperaturzyklus mit Genauigkeit erfordern. Es bietet präzise gesteuerte thermische Prozessabläufe und Drücke mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. AVIZA VTR 7000 besteht aus reinem Molybdän mit mit Edelstahl verkleideten Wänden. Es hat eine Gesamtgröße von 10,5 „W x 10,5“ L x 9,9 „H und eine beheizte Zone von 9,90“ W x 9,90 „L x 4,75“ H unterstützt von einem Edelstahlkammerboden. Es hat eine Druckstufe von atmosphärisch bis 0,7 Torr und benötigt eine 208V, einphasige Stromversorgung. THERMCO VTR 7000 ist mit einer Nooter-Erickson Rapid Thermal Processing Equipment ausgestattet, die eine schnell wirkende Single-Connect-Heizung und High-Speed-Timer-basierte Steuerung umfasst. Die Heizung ist so konzipiert, dass die Kammer innerhalb weniger Sekunden präzise und schnell auf Solltemperaturniveaus erwärmt wird, und der Regler ist darauf ausgelegt, das Temperaturprofil mit eingebauten Programmen zu optimieren. Dieses System beinhaltet auch einen automatischen thermischen Abschaltschalter bei 2550 ° C, um eine Überhitzung der Ofenkammer und der Heizung zu verhindern. VTR 7000 enthält eine gelötete Auspuffeinheit mit einer keramischen Blasenkammer, einem keramischen Laboranschluss aus Edelstahl und einer vakuumdichten Dichtung. Die Abgasmaschine ermöglicht die Entfernung sauberer Emissionen aus der Kammer und verhindert, dass giftige Dämpfe in die Laborumgebung gelangen. Zusätzlich bietet ein Quarzbildschirm eine Beobachtung der Prozesskammer. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 verfügt zudem über einen hochpräzisen Temperaturregler mit digitalem Display und digitaler Sollwertregelung. Die Temperatur kann leicht von Atmosphärendruck auf 0,7 Torr mit einer Genauigkeit von +/-3 ° C und Wiederholbarkeit von +/-0,5 ° C eingestellt werden. Enthalten sind auch 0-50 A.F. Leistung, digitales Vakuum-Auslesen und optionales Zwangsluft- und Stickstoffspülen der Kammer. Die Verwendung von SVG VTR 7000 Diffusionsofen und Zubehör ermöglicht Prozesse wie Atomschichtabscheidung (ALD) und chemische Dampfabscheidung (CVD) mit besserer Genauigkeit und Kontrolle als herkömmliche Produktionsmethoden. Sie eliminiert Temperaturschwankungen zwischen Prozesskammer und Heizgerät und ist in der Lage, dünne Folien mit Präzision und Wiederholbarkeit zu erzeugen. Dies macht es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Wahl für die Herstellung von Dünnschichtmaterialien.
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