Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168927 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9168927
Wafergröße: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: TEOS
(1) Chamber
(1) Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Gas manifold box
TEOS Transfill
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist eine Diffusionsofen- und Zubehöreinheit, die für eine kostengünstige industrielle Verarbeitung von Halbleitersubstraten entwickelt wurde. Dieser fortschrittliche Ofen verwendet Duschkopf mit zwei Zwecken und patentierter Flussmittelkonzentrationstechnologie, um eine präzise Prozesskontrolle mit optimaler thermischer Gleichmäßigkeit und geringer Partikelverschmutzung zu ermöglichen. SVG VTR 7000 verfügt über ein zuverlässiges Hochtemperaturdesign, das eine maximale Temperatur von 1200 ° C erreichen kann. Die robuste Ofenkammer ist mit hochbelastbarem, hochtemperaturisolierendem Material konstruiert, um die Leistung zu maximieren und sicherzustellen, dass die Temperatur kontrolliert und konsistent bleibt. Die fortschrittliche Steuerungsausrüstung bietet präzise Rückkopplung, um Gasflussrate, Druck und Temperatur anzupassen, um genaue Prozessergebnisse zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine digitale Anzeige, um Parameterwerte anzuzeigen, und Alarmüberwachung, um den Benutzer im Falle eines unerwarteten Ergebnisses zu benachrichtigen. AVIZA VTR 7000 enthält ein hocheffizientes Heizsystem, das Inertgas verwendet, um die Prozesstemperaturen zu optimieren. Das optimierte Design erhöht die Effizienz vorprogrammierter Programme und reduziert Ausfallzeiten. Darüber hinaus reduziert die fortschrittliche Kühleinheit die Ansammlung von Wärme, wodurch häufige Temperaturanpassungen entfallen. VTR 7000 kommt auch mit einer patentierten Gasverteilungstechnologie für präzise Gaskontrolle und gleichmäßige Gasverteilung. Die fortschrittliche Gassteuermaschine ermöglicht es Benutzern, die Gaszusammensetzung manuell einzustellen und vorbestimmte Geschwindigkeiten auf der Grundlage ihrer spezifischen Anforderungen festzulegen. Die Inertgasversorgung ist ebenfalls mit der Kammer verbunden, um einen sauberen und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die einfach zu bedienende Touch-Schnittstelle ermöglicht eine einfache Bedienung und Steuerung des Prozesses. Insgesamt ist THERMCO VTR 7000 ein zuverlässiger, kostengünstiger Diffusionsofen mit außergewöhnlicher Leistung und robusten Eigenschaften. Unter Verwendung der hochwertigen Isoliermaterialien und fortschrittlichen Gassteuerungssysteme bietet diese Einheit eine einheitliche thermische Leistung und erhöhte Prozessausbeuten. Darüber hinaus bietet die intuitive Touchscreen-Oberfläche und das Alarmwerkzeug dem Anwender ein aktuelles Feedback zu seinem Prozessstatus, was dieses Gerät zu einer idealen Lösung für industrielle Diffusionsanwendungen macht.
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