Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9398904 zu verkaufen

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Diffusionsofen- und Zubehörsystem. Es ist speziell entwickelt, um schnell und präzise Hochtemperatur- und sehr dünne dielektrische Schichten auf einer Vielzahl von Spin-on gleichmäßigen Schichten abzuscheiden. Dieser Diffusionsofen wird häufig in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED, LED-Verpackungs- und optischen Beschichtungsindustrie verwendet. SVG VTR 7000 ist eine geschlossene und belüftete modulare Kammerkonfiguration. Es bietet vier kontrollierte Umgebung Prozesskammern, und jede Kammer kann unabhängig jeder der Prozessschritte steuern. Die vier Kammern sind die Vorwärmkammer, die Glühkammer, die Diffusionskammer und die Nitridkammer. Die Kammerkonfiguration soll die Exposition gegenüber flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs) reduzieren und eine sichere Arbeitsumgebung bieten. Die Vorwärmkammer des AVIZA VTR 7000 ist für die Voroxidation und Diffusion mit einem Temperaturbereich von 350-800 ° C (662-1472 ° F) ausgelegt. Diese Kammer wird verwendet, um die notwendige Umgebung für die Oberflächenvorbereitung und Vorbehandlung zu schaffen, bevor irgendwelche Prozessschritte. In dieser Kammer wird das Substrat flächig schnell und gleichmäßig aufgeheizt. Die Glühkammer ist für thermisches Glühen und Oberflächenoxidation mit einem Temperaturbereich von 350-900 ° C (662-1662 ° F) ausgelegt. Mit dieser Kammer wird die Temperatur des Wafers eingestellt und die nachfolgenden Prozesse eingeleitet. Auch diese Kammer erreicht eine verbesserte Oxidationsgleichförmigkeit und erhöhte Oxidationsspannungsstabilität. Die Diffusionskammer ist für Driftoxidation und Diffusion mit einem Temperaturbereich von 400-980 ° C (752-1796 ° F) ausgelegt. Diese Kammer erzeugt eine Niederdruckgradientenumgebung mit Inertgas- und Inertgaskombinationen zur Abscheidung von dielektrischen Schichten. Es schafft auch die notwendige Umgebung für die Driftoxidation und die Diffusion von Dotierstoffarten in die Siliziumschichten. Die Nitridkammer ist für Nitridglühen und Oberflächenschutz mit einem Temperaturbereich von 400-950 ° C (752-1742 ° F) ausgelegt. Diese Kammer führt eine Nachdriftoxidationsnitridglühung durch und schützt die Oberfläche vor weiterer Oxidation. THERMCO VTR 7000 bietet einen Gesamtdurchsatz von bis zu 1400 Substraten pro Stunde, eine Gleichmäßigkeit von ± 2% (1 σ Einzelabweichung) der Filmdicke über einen 4-Zoll-Wafer und ist in der Lage, sehr dünne Schichten (bis 25 nm) abzuscheiden. Das System ist auch mit automatischen Wafer-Transfer-Platten, eine schnelle Abkühlung Funktion, automatische Widerstandsmessung und die Fähigkeit, an einen PC für die Datenerfassung anschließen ausgestattet. Dieses zuverlässige, kostengünstige und leistungsstarke Diffusionsofen- und Zubehörsystem ist ein Muss für jede moderne Verarbeitungsumgebung. VTR 7000 ist mit seiner engen Prozesssteuerung und dem Gesamtdurchsatz ein hervorragendes Diffusionsgerät für eine Vielzahl von Anwendungen.