Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL)
Verkauft
ID: 197477
Wafergröße: 8"
PIX Cure APCVD furnace, 8".
TEL Alpha 8SE (N2LL) Diffusionsofen ist ein Top-of-the-Line-Werkzeug für die Halbleiterverarbeitung, das eine präzise Steuerung in kritischen Parametern wie Temperatur, Druck und Durchfluss bietet. Mit einer geschlossenen Edelstahlkammer ist die Alpha 8SE in der Lage, in einer Vielzahl von Atmosphären zu arbeiten, um verschiedene Verarbeitungsarten unterzubringen. Ein neu entwickeltes Infrarot-Heizgerät bietet eine gleichmäßige Wärmeverteilung für gleichmäßige Prozesse und schnelle Rückgewinnung für schnelle Eingriffe. Die Alpha 8SE bietet zudem eine hochpräzise Temperaturregelung durch den Einsatz unabhängiger PID-Temperaturregler und Computersteuerungssysteme. Die Alpha- 8SE für die Vollwaferbearbeitung verfügt über eine innere Kammer, die die Verwendung von verschiedenen Arten von Geräten und Rezepten ermöglicht und ist leicht austauschbar, um Ausrüstung oder für verschiedene Rezepte zu aktualisieren. Für noch mehr Flexibilität können kundenspezifische Systeme auf spezifischen Auftrag ausgelegt und auf maximale Flexibilität und Leistung zugeschnitten werden. Um die Bedienersicherheit zu gewährleisten, verfügt das Alpha 8SE über verbesserte Schutzsysteme wie eingebaute blasensichere Kammern und mehrachsige Bewegungsüberwachungssysteme sowie ein flaches visuelles Überwachungssystem. Eine schnelle und präzise In-situ-Beladung wird durch den Einsatz einer Roboterladeeinheit (REX) gewährleistet, die verschiedene Wafergrößen emulieren kann und zerbrechliche Substrate problemlos handhabt. Für eine gleichmäßige Verarbeitung sorgt eine schnelle Gasfördermaschine für einen gleichmäßigeren Gasstrom wie N2 und Ar, während ein integriertes Gasventil mit geringer Masse eine hohe Steuerung des Gasstroms ermöglicht. Das Alpha- 8SE wurde auch unter Berücksichtigung der Zugänglichkeit entwickelt und ermöglicht eine einfache Installation, Bedienung und Wartung mit einem leicht lesbaren Visualisierungsfenster und einer integrierten Remote-Schnittstelle, die den Zugriff und die Bedienung von Remote-Computern erleichtert. Darüber hinaus ist dieses Tool für maximale Sicherheit und Zuverlässigkeit mit einer visualisierten Warnung Asset, redundante Temperatursensoren und zwei Not fall aus Tasten gebaut. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) Diffusionsofen ein Hochleistungswerkzeug, das eine präzise Steuerung für die Halbleiterverarbeitung mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen bietet. Mit seinem leistungsstarken Leistungsspektrum bietet dieses Modell eine leistungsstarke und effiziente Diffusionslösung für eine Vielzahl von Anwendungen.
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