Gebraucht TEL MATr 8000 #293718846 zu verkaufen
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ID: 293718846
Magnetic annealing system
Magnetic field: 0 to 8.0 Tesla
Circular diameter: Ø2° (51 mm)
Field homogeneity: -2/+2%
Field uniformity with angle: < ±1.5°
Set-point accuracy: < 5 m Tesla
Field stability: < 0.1%
Field reproducibility: <5 m Tesla
Temperature range: 200-450°C
Maximum wafer exit temp: 60°C
Thermal uniformity: <±3°C
Set point accuracy: ±1.5°C
Cross stack uniformity: ±1.5°C.
TEL MATr 8000 ist ein hochleistungsfähiger, fortschrittlicher Diffusionsofen, der den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieser hochmoderne Ofen ist mit einer Reihe von innovativen Eigenschaften und Fähigkeiten ausgestattet, die ihn zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen machen. Herzstück von MATr 8000 ist eine präzisionsgesteuerte Heizeinrichtung, die eine gleichmäßige und gleichmäßige Temperaturverteilung über die Waferoberfläche gewährleistet. Dies ist entscheidend für die Erzielung präziser und wiederholbarer Diffusionsprofile im Dotierungsprozess. Der Ofen kann Temperaturen bis zu 1200 Grad Celsius erreichen und eignet sich somit für eine Vielzahl von Hochtemperaturprozessen. TEL MATr 8000 verfügt über ein vertikales Ofendesign, das ein einfaches Be- und Entladen von Wafern durch eine Eingangstür ermöglicht. Dieses Design minimiert auch den Fußabdruck des Ofens, so dass es ideal für Reinraumumgebungen ist, in denen der Platz begrenzt ist. Die Ofenkammer besteht aus hochreinem Quarz, was eine ausgezeichnete thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Reaktionen gewährleistet. Einer der Hauptvorteile von MATr 8000 ist das fortschrittliche Gasfördersystem, das eine präzise Steuerung der Gasströmungen und -konzentrationen während des Diffusionsprozesses ermöglicht. Dies ist entscheidend für die Erzielung der gewünschten Dotierungsprofile und die Minimierung von Defekten im Halbleitermaterial. Der Ofen ist mit mehreren Gaseinlässen und Massenstromreglern ausgestattet, was eine hohe Flexibilität in der Prozessentwicklung ermöglicht. Neben seinen Kernheizungs- und Gaslieferfunktionen ist TEL MATr 8000 auch mit einer Reihe von Zubehörmodulen ausgestattet, die seine Leistung und Vielseitigkeit weiter verbessern. Dazu gehören ein Schnellglühmodul zur Nachdiffusionsbearbeitung, ein Waferkühlmodul für schnelle Abkühlungen und eine Prozessüberwachungseinheit zur Echtzeit-Rückkopplung von Prozessparametern. MATr 8000 wird von einer ausgeklügelten Softwaremaschine gesteuert, die eine einfache Programmierung von Prozessrezepten und die Überwachung von Schlüsselparametern in Echtzeit ermöglicht. Die Softwareschnittstelle ist benutzerfreundlich und intuitiv und ermöglicht es den Bedienern, Diffusionsprozesse mit minimalem Training einzurichten und durchzuführen. Insgesamt ist TEL MATr 8000 ein hochentwickelter und zuverlässiger Diffusionsofen, der eine unübertroffene Leistung und Flexibilität für eine breite Palette von Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet. Das präzisionsgesteuerte Heizwerkzeug, die fortschrittliche Gaszufuhr und die Palette an Zubehörmodulen machen es zu einem idealen Werkzeug, um präzise und wiederholbare Diffusionsprofile bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente zu erzielen.
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