Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 30X #9241217 zu verkaufen
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ID: 9241217
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Endpoint detection systems, 12"
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON 30X ist ein Diffusionsofen der Firma TEL (TOKYO ELECTRON). Es handelt sich um eine automatisierte Ausrüstung, die Materialien bei Temperaturen bis 1250 ° C in Wafer, wie Halbleiterscheiben, diffundieren soll. TEL 30X Serie von Diffusionsöfen verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die sie von anderen Diffusionsofenmodellen unterscheiden. TOKYO ELECTRON 30X Serie von Diffusionsöfen kommt mit einer Vielzahl von optionalen Zubehör und Komponenten, die verwendet werden können, um den Diffusionsprozess anzupassen. Hauptbestandteil des Ofens ist das Keramikreaktorrohr, das für den Betrieb mit hochpräziser Temperaturregelung ausgelegt ist. Die thermische Zone innerhalb des Rohres besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, darunter ein Quarzpyrometer, ein Thermoelement und ein Heizelement. Dadurch kann der Ofen eine genaue Temperaturregelung innerhalb der thermischen Zone erreichen. 30X Reihe von Diffusionsöfen verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Vakuum- und Überdruckschutz und ist für den Betrieb in einer inerten Atmosphäre ausgelegt. Dadurch wird sichergestellt, dass die Integrität der zu bearbeitenden Werkstücke während des gesamten Diffusionsprozesses erhalten bleibt. Neben der Steuerung und Wartung der thermischen Zone, TEL/TOKYO ELECTRON 30X Reihe von Diffusionsöfen kommen auch mit einer Vielzahl von Versorgungseinrichtungen und Kontrollen, die es dem Benutzer ermöglichen, den Diffusionsprozess zu steuern. Dazu gehört ein VNC-Steuersystem (Virtual Network Computing), mit dem Benutzer den Prozess von entfernten Standorten aus steuern und überwachen können. Der Ofen kommt auch mit einer Reihe von anderen Funktionen ausgestattet, einschließlich einer Halogenlampe Temperatur-Steuereinheit, eine thermische Zyklusmaschine, und ein Waferhalter Klemmwerkzeug. TEL 30X Serie von Diffusionsöfen verfügt auch über eine Vielzahl von Temperaturmess- und Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich einer integrierten Wärmebild- und Prozessabbildungsanlage, die eine hochgenaue Prozessrückmeldung ermöglicht. Dies in Kombination mit den verschiedenen anderen Merkmalen des Ofens ermöglicht es dem Anwender, einheitliche und effiziente Diffusionsprozesse zu schaffen. TOKYO ELECTRON 30X ist dank seiner Kombination aus Leistung, Genauigkeit und Sicherheit zu einer beliebten Wahl für viele Anwender geworden. Es bietet eine effiziente und zuverlässige Lösung für die Erstellung von Diffusionsprozessen auf einer Vielzahl von Wafern, und seine Vielfalt an Zubehör und Optionen bietet Benutzern die Möglichkeit, ihre Diffusionsprozesse anzupassen.
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