Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 803 #9254675 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 803 ist ein Einzel-Wafer Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör. Es verwendet einen zylindrischen Hohlraum, wo ein Wafer auf der Unterseite innen platziert und mit der unteren Kante gekühlt Herd Design erhitzt wird. Der Hochtemperatur-Einwafer-Diffusionsofen hat eine Fähigkeit von bis zu 1150 ° C und eine Gleichmäßigkeit von ± 3 ° C, ideal für Oxidations- und Diffusionsprozesse in der Halbleiterindustrie. Der Ofen verfügt über eine SPS (programmierbare Logiksteuerung) für eine einfache Bedienung, mit einem automatisierten O2-Durchflussmess- und Steuergerät und vakuumdichtem Zubehör für eine schnelle thermische Prozesseinleitung und Endpunkterkennung. Der Ofen hat auch eine Mobile-ENDIS Wärmedämmung, eine Vorrichtung, die hilft, Energieverschwendung zu reduzieren, indem die Gleichmäßigkeit der Wärmedämmung während des Prozessbetriebs beibehalten wird. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine einfache Einstellung von Prozesstemperaturen und Gasströmen. Der programmierbare Logikcontroller sorgt für eine präzise Steuerung der Prozessparameter. TEL 803 ist mit einem Konvektionssystem ausgestattet, das den Energieverbrauch durch Luftzirkulation im Ofen senkt und Turbulenzen und Wärmeverluste minimiert. TOKYO ELECTRON 803 verfügt auch über einen VCR-40 Vermessungsanschluss, der die Gleichmäßigkeit des Prozesses während des Betriebs und eine Kühlplattenanordnung zur Waferunterbringung und manuellen Heizratenanpassung gewährleistet. Der VCR-40 Port ist in der Lage, die Gleichmäßigkeit der Ofentemperatur und die chemische Konzentration von Dotierstoffen innerhalb der Prozessgase zu überwachen. Es ermöglicht auch eine detaillierte Analyse der Datensätze. 803 verfügt außerdem über ein Remote-Prozessüberwachungssystem sowie PC-basierte Software zur Verarbeitung und Darstellung von Nutzungsdaten und Prozessinformationen. Das Fernüberwachungssystem ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung aller Betriebsparameter ohne manuellen Eingriff. TEL/TOKYO ELECTRON 803 kommt auch mit einer Reihe von zusätzlichen Funktionen wie fortschrittliche Temperaturregelung, Oxidation Armor Technologie, ein leicht zugängliches Inspektionsfenster und Prozessgasdiagnose. Alle diese Merkmale kombinieren einen effizienten, benutzerfreundlichen Diffusionsofen, der den Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie gerecht wird.