Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801900 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das auf die Anforderungen der heutigen IC-Herstellungsprozesse zugeschnitten ist. Es bietet eine hochwertige Abscheidung bei extrem niedrigen Temperaturen mit hervorragender Gleichmäßigkeit. TEL A303i verfügt über ein hervorragend gestaltetes Design mit niedriger thermischer Masse (LTM), das eine reduzierte thermische Zykluszeit ermöglicht. Der Diffusionsprozess wird über eine computergesteuerte Prozesssteuerung gesteuert, die alle Funktionen des Prozesses leitet und überwacht, von Temperatureinstellungen bis zu Prozessrezepten. Der spezialisierte TOKYO ELECTRON A 303 I Diffusortiegel ist mit einer geringen thermischen Masse konstruiert, um die thermische Gleichmäßigkeit über das Substrat zu maximieren. Der Tiegel ermöglicht Temperaturen bis zu 1090 Grad Celsius, zusammen mit einem maximalen Druck von bis zu 80 Torr. Darüber hinaus verfügt der Tiegel über ein Paar horizontal gegenüberliegende Quarzlampen, die das PNL-Transfersystem (Pulsed Nitrogen Load) ermöglichen. Die PNL gewährleistet eine genaue Positionierung der Reaktionskammer, um Reaktionsstörungen zu verhindern. Darüber hinaus ist TEL A 303 I mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet, die eine optimale Prozesskontrolle und -leistung gewährleisten. Dazu gehört das Port-Isolationsmodul LoadLOCK, das eine sichere und zuverlässige Möglichkeit bietet, Substrate in die Reaktionskammer zu laden, ohne sich um eine Drehung der Kammer zu kümmern. Die Einführung von Verunreinigungsgasen und anderen reaktiven Gasen erfolgt über das System Atomic Layer Delivery (ALD), das so programmiert werden kann, dass genau gesteuerte atomare Gasschichten für Abscheidungsprozesse abgegeben werden. Um Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen, kommt A 303 I mit einem erweiterten Data Acquisition Systems (DAS) Controller, der eine zuverlässige Echtzeit-Rückmeldung und Aufzeichnung von bis zu 16 Parametern ermöglicht. Dazu gehören Luftdruck, Substrattemperatur, Kammertemperatur und andere versteckte Parameter. TOKYO ELECTRON A303i 's proprietäre In Vacuum Ultra-Fine Control (IVAP) Erfahrung bietet die ultimative Präzision und Genauigkeit bei der Einrichtung von Prozessen. Mit bis zu sechs einstellbaren Parametern ermöglicht der IVAP den Anwendern, ihren Prozess in Echtzeit zu überwachen und anzupassen. Abschließend ist A303i ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör mit beispielloser Präzision und Genauigkeit. Mit seinem geringen thermischen Massendesign, dem PNL-Transfersystem und präzisen Steuerungssystemen ist es das perfekte Werkzeug für IC-Fab-Labors, die nach überlegener Leistung suchen.