Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193 zu verkaufen
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ID: 9235193
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: DIFF
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist eine fortschrittliche Diffusionsofenanlage für den Einsatz in der Herstellung integrierter Schaltungen. Das System besteht aus zwei Komponenten: einer Diffusionsofenkammer und zugehörigen Verarbeitungseinrichtungen. Die Diffusionsofenkammer ist luft- und vakuumdicht ausgebildet und kann Temperaturen bis 1550 Grad Celsius aufweisen. Das Gerät ist mit einer speziellen atmosphärischen Steuerungsmaschine ausgestattet, um die gewünschte Atmosphäre für die Verarbeitung zu erhalten. Die Kammer besteht aus zwei Schalen aus Edelstahl, Titan oder Niob. Das Kammerinnere ist mit einer keramischen Beschichtung versehen. Diese Beschichtung enthält Titancarbid-Nanofilme und soll Oxidation während der Verarbeitung verhindern. Die Kammer ist auch mit Quarzfenstern ausgestattet, um die Übertragung von Licht zu ermöglichen, das verwendet wird, um den Fortschritt der Verarbeitung zu überwachen. Das Diffusionsofenwerkzeug umfasst auch eine Reihe von Zubehörteilen, die eine Weiterverarbeitung ermöglichen. Dieses Zubehör umfasst Verlängerungsarme, Fensterläden, Sondenanordnungen, Kantendichtplatten, Abkratzharze und Heizelemente. Die Sondenanordnungen ermöglichen eine präzise Handhabung und Applikation von Harzen auf die innere Kammer. Als zusätzliche Sicherheitsmaßnahme ist an die Kammer eine Inertgaszuleitung angeschlossen. Die Randdichtbleche sind an der Kammeröffnung befestigt und zur Verminderung von Verschmutzungen aus äußeren Quellen ausgebildet. Die Abkratzharze dienen der Verunreinigung durch Haftung von Material an den Kammerwänden. Die Heizelemente werden verwendet, um die Kammer gleichmäßig zu erwärmen und eine konsistente Umgebung für die Verarbeitung zu erhalten. TEL A303i ist eine außerordentlich zuverlässige und einfach zu bedienende Diffusionsofenanlage. Es ist für die Herstellung von fortschrittlichen integrierten Schaltungen und anderen spezialisierten mikroelektronischen Komponenten konzipiert. Es ist ein robustes Modell, das für eine lange Lebensdauer und geringen Wartungsaufwand ausgelegt ist.
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