Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241289 zu verkaufen
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ID: 9241289
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Vertical diffusion furnaces, 12"
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i Diffusion Ofen ist ein leistungsfähiges Stück Laborausrüstung verwendet, um auf der Oberfläche eines Substrats oder einem anderen Material, eine dünne Schicht aus Material abzuscheiden. Sie eignet sich gut für Anwendungen, die eine präzise Temperaturregelung erfordern, wie z.B. bei der Herstellung von Verbundhalbleitern, oder zur Herstellung anderer Bauelemente aus verschiedenen Materialien wie Diamantfolien. TEL A303i ist ein horizontaler Ofen mit einem einzigen Prozessrohr, das in einem Titangehäuse untergebracht ist. Es ist Wasserkühlung Zyklus gekühlt, und enthält ein Quarz versiegelt Widerstand Heizelement. Die maximale Betriebstemperatur beträgt 1300 ° C bei einer Temperaturgleichförmigkeit von ± 5 ° C. Die Außenplatten sind aus Edelstahl 304 und 321 gefertigt. Die Kammer ist auch aus Edelstahl mit einem inneren Quarzrohr und Glaswolledämmung aufgebaut. Der Ofen ist mit einer Abluftöffnung ausgestattet, die zur Evakuierung der erwärmten Luft bei Prozessläufen ausgelegt ist. TOKYO ELECTRON A 303 I verfügt über mehrere Zubehörteile, darunter einen automatisierten Gaskasten, eine Vakuumtrennung, einen Ventilator, eine Stromversorgung, ein Sicherheitsventil, einen Stützmechanismus, einen Wasserkühleinlass, einen Abgasanschluss und einen Controller. Der Gaskasten dient der Vermischung und Steuerung der in den Prozessläufen verwendeten Gasmenge. Das Vakuumtrennsystem dient zur Trennung der Abluft vom Ofenraum. Es ermöglicht die effiziente Entfernung von Kontaminaten aus der Luft, die aus dem Ofen emittiert wird. Mit dem Ventilator wird die Temperatur des Ofens geregelt. Das Sicherheitsventil dient dazu, eine Überdruckbeaufschlagung innerhalb des Systems zu verhindern und Sicherheitsvorkehrungen zu treffen, falls die Temperatur über das gewünschte Niveau ansteigt. Die Stromversorgung ermöglicht eine genaue Regelung der Temperatur, während der Stützmechanismus dafür sorgt, dass der Ofen während der Prozessläufe stabil ist. Der Wasserkühleinlass ist an eine Kühlwasserversorgung angeschlossen und dient zur Aufrechterhaltung einer konstanten Temperatur während des gesamten Prozesses. Der Abgaskanal ist an das Vakuumsystem angeschlossen und dazu ausgelegt, erwärmte oder kontaminierte Luft aus dem Ofenraum zu entfernen, so dass unerwünschte Stoffe während des Prozesses nicht in das Gehäuse gelangen. Der Regler dient zur Überwachung und Einstellung der Temperatur und der gesamten Prozessabläufe. Abschließend bietet der Diffusionsofen TEL A 303 I und sein dazugehöriges Zubehör eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, dünne Materialschichten abzuscheiden. Es bietet eine präzise Temperaturregelung und perfekte Gleichmäßigkeit, wobei auch alle Sicherheitsanforderungen eingehalten werden.
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