Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242096 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9242096
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Vertical diffusion furnaces, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein vertikaler Typ, orbitalmassengestützter vertikaler Fluss, einzelner Wafer, Diffusionsofen und Zubehör für anspruchsvolle Produkte. Das Gerät verfügt über eine deutlich geformte, horizontale elektrische Heizungskonfiguration, die präzise lokale Heiz- und Kühleigenschaften bietet. Es ist entworfen, um Niedertemperaturglühen mit Hochtemperaturdiffusion zur Verfügung zu stellen. TEL A303i bietet ein attraktives Leistungsprofil für die anspruchsvollen Anwendungen der Halbleiterbauelementherstellung. Die zuverlässigen vertikal durchströmten Glühfähigkeiten der Vorrichtung eignen sich hervorragend für Präzisionsmusterschichten, die für die Geräteherstellung benötigt werden. Das Gerät bietet auch ein breites Prozessfenster zur Temperaturregelung. Die Genauigkeit der thermischen Gleichmäßigkeitskontrolle kann über den gesamten Prozess der Heizung und Kühlung genau überwacht und eingestellt werden. TOKYO ELECTRON A 303 I beinhaltet Komponenten wie ein großes, hoch spektral abgestuftes, zweischaliges Quarzrohr, einen magnetisch schwebenden Motor und einen nitridseitigen Graphitliner, der eine gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet. Es hat ein Low-Profile-Design, das einen sicheren Zugang gewährleistet. Das einzigartige Merkmal von TOKYO ELECTRON A303i ist, dass es sowohl Diffusions- als auch Glühfähigkeiten innerhalb desselben Geräts bietet. Das Gerät umfasst einen Monitor, einen Controller und ein Softwarepaket zur Temperatur- und Prozesssteuerung. Der Monitor kann die Daten aufrufen und die Leistung jedes Prozesses auf dem LCD-Bildschirm graphisch darstellen. Die Steuerung greift optisch auf Eingangsparameter und Betriebsbedingungen des primären Wechselstromgenerators und des Wärmeofens zu. Die Steuerung dient auch zur Überwachung des thermischen Glühprozesses und zur Lieferung von Parametern für entsprechend optimierte Ergebnisse. TEL A 303 I enthält High-Tech, Betriebs- und Sicherheitsrichtlinien, die zur Optimierung des Betriebs beitragen. Die Vorrichtung hat einen deutlichen Rand, um bei beliebigen Temperaturen eine gleichmäßige Heiz- und Kühlleistung zu gewährleisten, um konsistente Produkte zu gewährleisten. Der Benutzer hat auch Zugriff auf Tipps & Tricks und Checklisten im Benutzerhandbuch. Das Gerät ist nach strengen Sicherheitsrichtlinien zertifiziert und gilt als einer der zuverlässigsten und effizientesten verfügbaren Diffusionsöfen.
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