Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271013 zu verkaufen
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ID: 9271013
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Vertical diffusion furnaces, 12"
Process: DIFF
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein leistungsstarker Diffusionsofen, der speziell für die Halbleiterforschung und -herstellung entwickelt wurde. Dieses Werkzeug erleichtert die Diffusion von Dotierstoffen in ein Substratmaterial, wodurch komplexe Halbleiterbauelemente erzeugt werden können. TEL A303i verfügt über fünf vertikale Zonen und eine gemeinsame obere Zone. Alle fünf Zonen werden unabhängig voneinander in Temperatur und Atmosphäre gesteuert. TOKYO ELECTRON A 303 I ist in der Lage, Temperaturen bis zu 1400 ° C sowohl in oxidierenden und reduzierenden Atmosphären als auch in Inertgasumgebungen zu erreichen. Zusätzlich kann die Kammer in hochreinen Wasserstoffgas- und Chlor-basierten Atmosphären arbeiten. A303i ist mit den neuesten PAM-2000 Steuerungssystemen, einer erweiterten Reihe von Sensoren und Instrumenten zur Überwachung und Aufrechterhaltung optimaler Waferbearbeitungsbedingungen ausgestattet. Es bietet auch einen vom Benutzer kontrollierbaren Deckel. Dieser flexible Deckel ermöglicht es Benutzern, die Anzahl der Öffnungen einzustellen oder Wafer durch die Glastür zu betreten. Das leistungsstarke TOKYO ELECTRON A303i verfügt auch über einen einstellbaren Plattenabstand, einen großen Siliziumkarbid-Boden und eine obere Platte, stilvolle Kassettenträger, einen automatisierten Wafer-Transfer-Port, ein Schrittmotor-Antriebssystem und vieles mehr. TELEFON / ELEKTRON VON TOKIO 303 ich Verbreitungsbrennofen bietet maximale Prozesssteuerung und Flexibilität Benutzern, die Präzisionshalbleitergerätproduktion suchen. Mit seinen innovativen Eigenschaften und der fortschrittlichen Technologie ist der A 303 I eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.
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