Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271020 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör, der entwickelt wurde, um die Effizienz und Qualität Ihrer Halbleiterherstellungsprozesse zu maximieren. TEL A303i eignet sich hervorragend für spröde Film-, RTP-, PAE-, ALD-, Verkapselungs- und SiC-Oxidationsprozesse. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, vom ultrahohen Prototyping bis zur Suite-Konfiguration für die Produktion. TOKYO ELECTRON A 303 I verfügt über eine Basisofenbaugruppe mit aluminiumoxidbeschichteten Lastanschlüssen zum schnellen und sicheren Be-/Entladen von Wafern. Die Lastanschlüsse sind mit vertieften elektrostatischen Spannschilden ausgekleidet, um die Gleichmäßigkeit zu verbessern. Der Waferlader ist in der Lage, bis zu 200 4-Zoll, 150 6-Zoll und 80 8-Zoll-Wafer in einem Zyklus zu übertragen. Die Futterplatte ist auch mit Heizungen für eine einheitliche Temperaturregelung ausgelegt. A303i ist mit einem Temperaturregler mit voll programmierbarer Abgastemperaturregelung und automatischer Abgasregelung ausgestattet. Das luftgekühlte Pyrometer ermöglicht präzise Temperaturmessungen. Es verfügt auch über ein geschlossenes Verarbeitungs-Feedback-Schleifensystem, in dem Feedback von verschiedenen Sensoren verwendet wird, um Prozessparameter und Qualität zu erhalten. Der Ofen verfügt über eine erweiterte Softwareschnittstelle zur Datenanalyse und Parameteranpassung. Parameter wie Temperatur, Zeit, Gasfluss und Druck können mit Hilfe eines Touchscreen-Bedienfeldes in Echtzeit eingestellt werden. Die Software enthält auch einen Echtzeit-Datenanzeiger, um Prozessparameter anzuzeigen und bei der Fehlerbehebung zu helfen. TOKYO ELECTRON A303i bietet seinen Anwendern außerdem zusätzliche Funktionen wie Differentialpumpen zur Verringerung der Gaslastschwankungen, eine „schnelle Abkühlung“ -Option zur schnellen Abkühlung der Kammer, eine Dual-Zone-Temperaturregelung und eine prozessgesteuerte Wärmerampe für sicheres Temperaturrampen. In Bezug auf die Sicherheit verfügt TEL A 303 I über UL- und CE-Zertifizierungen, so dass es in den meisten Produktionsumgebungen sicher verwendet werden kann. Die Maschine verfügt auch über ein säurefestes Edelstahlgerüst und langlebige Quarzdichtungen, um Korrosion oder Leckagen zu verhindern. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I ist ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von thermischen Prozessen. Es bietet ausgezeichnete Prozessgleichförmigkeit, hohen Durchsatz, präzise Temperaturregelung und Prozessdatenanalysefunktionen, um sicherzustellen, dass Ihre Halbleiterherstellungsanforderungen auf die effizienteste Weise erfüllt werden.