Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9314617 zu verkaufen
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ID: 9314617
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Vertical diffusion furnace, 12"
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Dieser Diffusionsofen ist ein Hochleistungsofen, der den Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird und für Anwendungen wie Dotierung, Oxidation, Abscheidung und thermische Halbleiterbauelementverarbeitung verwendet werden kann. TEL A303i verfügt über eine robuste Konstruktion, eine Edelstahlauskleidung, einen präzise gesteuerten Temperaturbereich von 200 ° C bis 1050 ° C und eine 3-zonenunabhängige Heißzonenkontrolle. Das ausgestattete spiegelflächige Quarzrohr sorgt für eine gleichmäßige Temperierung der Waferoberflächen. Der schnelle und stabile Betrieb wird durch die Heißzonenkonfiguration, Temperaturregelung und Gasverteilungssystem ermöglicht. Die mehreren Funktionen ermöglichen es dem Benutzer, für jede Anwendung ideale Verarbeitungsbedingungen auszuwählen. Das Hochleistungsdatenerfassungssystem kontrolliert und registriert die Prozessbedingungen, und eine entfernte Zugriffsauswahl erlaubt Benutzern, die Prozessbedingungen von jeder Position zu kontrollieren. Darüber hinaus ermöglicht die Software die Anzeige und den Druck von Prozessdaten, die bei der Fehlerbehebung und Prozessoptimierung helfen können. TOKYO ELECTRON A 303 I Langzeitstabilität und wartungsfreundliches Design sorgen für einen effektiven Langzeitbetrieb. Die Wartung ist einfach und schnell, so dass es ein zuverlässiger Diffusionsofen und Zubehör.
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