Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315048 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9315048
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein leistungsstarker Multifunktions-Diffusionsofen und sein Zubehör. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen fortschrittlicher Anwendungen der Halbleiterprozesstechnologie zu erfüllen. Es bietet eine präzise Temperaturregelung, Übertemperaturschutz und eine einheitliche Wärmeverteilung von vorne nach hinten. Seine fortgeschrittene Temperaturgleichförmigkeitskontrolltechnologie sichert genaue Kopierfräs-Oblatensubstrattemperatur. Der Ofen verwendet ein sehr großes Ofenvolumen, das groß genug ist, um die Verarbeitung großer Losscheiben zu erledigen. Es umfasst auch eine On-Board-Überwachungseinrichtung, die es dem Benutzer ermöglicht, den Prozessstatus in Echtzeit zu überwachen. Der Einsatz dieses Überwachungssystems hilft dem Anwender auch, bessere Entscheidungen zu treffen und die Produktionseffizienz sowie den Durchsatz zu steigern. TEL A303i ist flexibel gestaltet und kann problemlos in bestehende Prozesswerkzeuge integriert werden. Es verfügt außerdem über eine erweiterte Einheit, mit der eine Vielzahl von Konfigurationen ausgeführt werden können. Es ist in der Lage, große Waferprozesse zu unterstützen, bis zu 2.400mm in der Größe. Der Ofen kann angepasst und konfiguriert werden, um eine Temperaturgenauigkeit von 0,1 ° C bei wiederholbarer Temperaturregelung zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON A 303 I ist entworfen, um Wiederholbarkeit und hohe Genauigkeit auf Temperaturprofil zu gewährleisten. Es besteht aus hochwertigen Materialien und verfügt über einen integrierten Quarzreaktor für Ultra-Hochtemperaturbetrieb und eine große Reaktionskammer für optimales Volumen. Darüber hinaus umfasst es auch automatisierte Waferbeladung und Transferarme zur gleichmäßigen Ausrichtung auf dem Wafer. Es verfügt auch über eine sichere und korrosionsbeständige Edelstahlaußenseite, um Haltbarkeit durch die breite Palette von Betriebstemperaturen zu gewährleisten. Darüber hinaus ist der Ofen mit minimalem Wärmeverlust für die Umwelt und ausgezeichnete Isolierung ausgelegt. Das Innere der Reaktionskammer wird mit erwärmtem Gas portiert, um die Präzisionstemperatur innerhalb und unterhalb des Wafermaterials zu halten. TEL A 303 I, bietet auch ein hohes Maß an Sicherheit mit seinem breiten Spektrum an Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören ein Not-Aus-Knopf zur sofortigen Abschaltung, ein Übertemperatursensor zur Verhinderung von Prozessausfällen und ein abgedichteter wärmeschirmter Kern zur minimalen Wärmeabgabe an die Umgebung. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I ist mit einer ausfallsicheren Hinderniserkennungsmaschine ausgestattet, die verhindert, dass der Wafer in die Reaktionskammer fällt. Es ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von Zubehör für Automatisierung und Prozesssteuerung. Abschließend ist A 303 I ein Multifunktions-Diffusionsofen und sein Zubehör, das für eine präzise Temperaturregelung, einen Übertemperaturschutz und eine gleichmäßige Wärmeverteilung für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Seine fortgeschrittene Temperaturgleichförmigkeitskontrolltechnologie und breite Reihe von Sicherheitseigenschaften machen es eine ideale Wahl für anspruchsvolle Voraussetzungen in der Industrie.
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