Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315050 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör für die Waferbearbeitung. Es ist ein zuverlässiges, einfach zu bedienendes und langlebiges Werkzeug für Halbleiterproduktionsumgebungen. TEL A303i ist ein Hochtemperatur-Mehrzonenofen zur thermischen Prozesssteuerung. Es bietet präzise und wiederholbare thermische Verarbeitungsbedingungen für eine Vielzahl von Substraten und Materialien. TOKYO ELECTRON A 303 I hat eine maximale Temperatur von 1200 ° C und kann von bis zu 20 ° C bis 1200 ° C reichen. Es weist außerdem eine Gleichmäßigkeit von ± 2 ° C und eine Stabilität von ± 0,1 ° C auf. Es verwendet fortschrittliche Steuerungssysteme, die speziell für die Temperaturabbildung von Wafern in der kurzen Zeitdauer konzipiert sind. Ein 303 I ist in der Lage, dynamische Informationen über die Temperatur der Wafer bereitzustellen, die wiederum verwendet werden können, um Waferverzug oder Konturungleichförmigkeiten von der thermischen Verarbeitung zu verhindern. TOKYO ELECTRON A303i verfügt auch über einen Graphit-Suszeptor-Liner für eine verbesserte Wärmeableitung und eine bessere Temperaturüberwachung. Der Suszeptor-Liner hilft auch, eine saubere Verarbeitungsumgebung während der Waferproduktion aufrechtzuerhalten. Neben der hochwertigen thermischen Verarbeitung stellt TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I den Anwendern auch eine Vielzahl von Prozessgasregelungssystemen vor. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessgasmischverhältnissen zu erreichen, von 50/50 bis 99/1 von mehreren Gasen und ermöglicht eine erhebliche Flexibilität zur Optimierung der Waferqualität. Es bietet auch eine präzise Prozesssteuerung durch den Online-Gasdurchflussmesser. A303i ist mit mehreren Prozessparametern wie Heizrate, Temperaturprofil, Prozessrezepte und mehr erhältlich, die auf individuelle Prozessanforderungen programmiert und die Geräteleistung verbessert werden können. Es enthält eine Vielzahl von Sicherheitsoptionen, einschließlich Temperatursensoren und Überstromschutzmaßnahmen. All dies macht TEL A 303 I zu einem effizienten, genauen und sicheren System für die thermische Verarbeitung. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und Top-Features bietet es eine beispiellose Leistung für die Waferproduktion.